PDF《华南先进院购 PLD 真空腔设备采购项目》

5、 气路系统要求有两路质量流量计(MFC)控制的(氧、氮或氩)气路和相应的软 件控制系统.

6、加热系统 a)加热台,加热器最高加热温度 900°C(基片托的温度) ,采用可插拔的 设计,整个加热器可以取出进行更换样品. b)加热器 z 方向可以移动 50mm(调节靶材、基片间的距离) .

7、靶台系统 a)可容纳

4 个1英寸的靶,靶材的自转、公转(换靶)均由马达控制,要 求有效防止靶材间的交叉污染和靶材过热,并能实现靶材的均匀消耗. b)电控系统,控制加热器和靶台,包含控制软件

8、附件及零配件(备件及消耗品,包括专用工具) a)各种真空测试装置的灯丝,相关规格的全套无氧铜密封垫圈,氟橡胶密 封圈,全套不锈钢紧固螺栓、螺母、垫片等;

衬底加热丝或加热器,安装和维 护系统所需要的工具. b)相关的技术资料各类外购件使用说明书:设备结构原理图及关键部件结 构图,电控系统原理结构图,装箱单,设备出厂合格检验证明. c)配备循环水冷却系统. 华南先进院购 PLD 真空腔设备采购项目招标文件 招标编号:0835-1501123N0471 http://www.gdbidding.com

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三、商务技术要求

1、实施要求 1)设备安装 投标人必须向采购人提供本项目采购的所有硬件的安装和维护服务的全部 内容.若本项目采购的设备产品等方面的配置或要求中出现不合理或不完整的 问题时,投标人有责任和义务在投标文件中提出补充修改方案并征得采购人同 意后付诸实施. 2)测试和验收 业主将按照有关标准进行验收.

2、开箱检验 1)所有设备、器材在开箱时必须完好,无破损.配置与装箱单相符.数量、质 量及性能符合合同要求. 2)拆箱后,投标人应对其全部产品、零件、配件、用户许可证书、资料、介质 造册登记,并与装箱单对比,如有出入应立即书面记录,由供货商解决,如影 响安装则按合同有关条款处理.

3、设备测试 设备安装完成后,按照系统要求的基本功能逐一测试. a)系统运行正常,联机测试通过. b) 如商检或设备测试中发现设备性能指标或功能上不符合招标文件和合同 时,将被看作性能不合格,设备使用单位有权拒收并要求赔偿. c) 投标人应负责在项目验收时将系统的全部有关产品说明书、 原厂家安装 手册、技术文件、资料、及安装、验收报告等文档交付设备使用单位. 华南先进院购 PLD 真空腔设备采购项目招标文件 招标编号:0835-1501123N0471 http://www.gdbidding.com

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4、产品验收要求 1) 要求对全部设备、产品、型号、规格、数量、外型、外观、包装及资料、 文件(如装箱单、保修单、随箱介质等)的验收. 2) 凡列入《中华人民共和国实施强制性产品认证的产品目录》的产品在验 收时出具 CCC 认证证书复印件,并以在产品外部加施认证标志作为验收依据之 一. 3) 投标人应负责在项目验收时将系统的全部有关产品说明书、原厂家安装 手册、技术文件、资料、及安装、验收报告等文档汇集成册交付设备使用单位. 4)验收在全部设备安装调试及并经过

15 个工作日试运行后的

15 个工作日 内进行.根据投标文件和合同中的技术要求,对全部设备、产品、型号、规格、 数量、及资料、文件(如进货单、装箱单、保修证明、保修单、随箱介质等) 进行检查,所有设备性能指标均符合文件技术要求视为通过验收,否则中标人 应在