DOC《K1050X射频等离子灰化仪》

K1050X射频等离子灰化仪 详细技术指标 1.

微处理器控制:全自动程序控制,一键式操作 2. 现代固态射频技术:0-100瓦功率可调,工作频率为13.56MHz. 3. 射频(RF)系统:具有自动调谐匹配功能 4. LCD显示:可实时显示腔室里的各种条件,如真空度、射频功率及时间等 5. 所有工作参数可编程预设,人机界面友好.可储存10个工作程序以便多用户时的不同应用 6. 选择不同的工作气体及工作参数,可具有三大用途:等离子清洁、等离子刻蚀、等离子灰化 7. 紧凑的台式系统 8. 抽拉式门结构:便于样品进出 9. 低温等离子处理过程 10. 具有两个气体入口:可单独使用一种或同时两种 不同的气体,并且两路气体都有流量计控制 11. 有节制的放气系统:减少样品扰动 12. 仪器尺寸:450mm W x 350mm D x 300mm H 13. 重量:25Kg 14. 桶形工作腔室:'Pyrex'160mm L x 110mm Dia.,标配硼硅酸盐玻璃腔室 15. 真空泵:爱德华RV3型Fomblin防爆机械泵作为标配 16. 真空范围: ATM 到10-2 mbar量级,通常操作真空为0.5mbar到1.0mbar 17. 数字计时:99.9小时选择范围,倒计时实时显示 18. 电源:230V 50Hz (包括机械泵最大电流5 安培)