DOC《2018年浙江省科学技术进步奖公示材料》

2018年浙江省科学技术进步奖公示材料

一、项目名称:年产250吨电子级低氧超高纯钛

二、项目简介 宁波创润新材料有限公司采用新一代的熔盐电解法工艺,针对我国海绵钛的等级和粒度,实现了年产250吨电子级低氧超高纯钛的产业化制备.

电子级低氧超高纯钛是半导体产业领域重要的关键原材料.随着半导体技术、信息技术等高科技领域的快速发展,在电子信息材料领域内,高纯钛在溅射靶材、集成电路和平板显示器等方面的用量越来越大,对钛材的纯度要求越来越高.在半导体超大规模集成电路行业,控制电极采用钛硅化合物、钛氮化合物、钨钛化合物等作为扩散阻挡层和配线材料.制造这些材料采用溅射法,而溅射法用的钛靶材对纯度要求很高,特别是对碱金属元素和放射性元素要求含量极低.目前,对于4兆位的超大规模集成电路,要求钛的纯度达到4N5(99.995%)、5N(99.999%)级,而16兆位的第三代超大规模集成电路则对钛的纯度要求更为苛刻.目前全球仅有美国、日本的3个公司实现了产业化制备.宁波创润新材料有限公司开展的 年产250吨电子级低氧超高纯钛锭 项目,完成了低氧超高纯钛的产业化制备,打破了美日垄断,填补了关键战略原材料的生产空白. 本项目在技术上达到以下几个方面的国际先进水平:

1、实现工业化大批量生产(单机日产25公斤以上);

2、百分之百国产化,从设备材料、制造、安装及原材料的供给完全实现国产;

3、含氧量低,实现提纯晶体含氧量低于50ppm,钛锭含氧量低于100ppm;

4、超高纯度,钛锭纯度达到99.999%(5N);

5、低成本,品质上完全替代进口高纯钛材,成本降低20%以上. 自项目开展以来,累计申请专利59项,已授权10项,包括4项发明专利和6项实用新型专利.

三、第三方评价 (1)查新报告结果: 查新单位:中国科学院上海科技查新咨询中心;

查新报告编号: 201121C0703685a. 查新结论: 经检索,对比国内外相关文献, 熔盐电解法生产电子级高纯钛 提供了工业规模熔盐电解高纯钛设备.在上述列举数据库和时限范围内,未见有与该 熔盐电解法生产电子级高纯钛 生产规模与纯度级别相应的公开出版物报道.项目的开发将有利于行业技术的发展与进步,并将在带来社会效益的同时带来经济效益. (2)检测报告: 检测单位:埃文思材料科技(上海)有限公司;

检测报告编号:H0GTQ

139、H0GUB510等不小于100份产品检测与监控报告.经检测,所测指标均达到国家标准的要求,产业化数据稳定,品质体系完善,满足电子半导体行业的需求. (3)客户评价: 产品通过西北有色金属研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司等国内知名半导体行业、有色金属行业企业评价,并已在终端客户端使用,反馈本项目产品完全可替代同等级国外进口产品.

四、直接经济效益 项目研发成功后,

2015、2016年累计新增销售收入323.82万元.随着项目产品逐步进入客户端评价、使用(电子半导体行业评价周期较长,需要1-2年),2017年新增销售收入增至1503万元, 随着评价、使用的终端客户逐步增多,今后的销售收入将呈现爆发式增长.

五、推广应用情况 根据西北有色金属研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、长沙鑫康新材料有限公司等20余家客户的使用反馈,本项目产品低氧超高纯钛品质上可完全替代国外进口同规格产品,降低了原材料生产成本,间接经济收入每年超过1000万元,利税收入增加10%以上.