DOC《武汉光安伦光电技术有限公司鄂州分公司光电子芯片产业化项...》

2015070040900080 总投资 1亿元人民币 建设性质 新建 建设地点 鄂州葛店经济技术开发区光谷联合科技城C9-5栋 投产日期 2017年8月 建设内容 购置光谷联合科技城已建成厂房用于生产,总建筑面积约4000m2.购置各类芯片生产、测试设备,改造超净化车间、辅助用房并配套建设供电、供气、废气处理、废水处理等公用环保设施,形成年产1000万片光电子芯片的生产能力. 生产班制和职工人数 本项目劳动定员50人,其中管理人员10 人,生产及技术人员40人.全厂实行一班制,工作时间8:30~5:30,年工作时间为250天. 本项目建设期为3年,投产期为1年.其中,预计2015年12月前完成厂房改造;

2016年6月前完成设备安装;

2016年10月完成设备调试;

2016年11月开始试生产.详. 2.环境质量现状评价 (1)地面水 拟建项目废水进入葛店经济技术开发区污水处理厂处理后排入长江,长江各监测断面各项水质监测指标均能满足《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中III类水质标准. (2)环境空气 项目所在区域SO

2、NO2及PM10日均值均能满足《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准的要求;

氨、氯化氢、硫酸雾、氟化物(以F计)小时值,砷化物(换算成砷)日均值满足《工业企业设计卫生标准》居住区(TJ36-79)表1 居住区大气中有害物质的最高容许浓度标准值 的要求;

TVOC 8小时均值满足《室内环境空气质量标准》(GB/T18883-2002)的要求. (3)声环境质量 项目厂界噪声昼、夜监测值能满足《声环境质量标准》(GB3096-2008) 2类标准 的要求. (4)地下水 项目所在区域地下水水质指标中pH、高锰酸盐指数、铅、汞、铬、镉、砷、硫酸盐、氯化物可以满足《地下水质量标准》(GB/T14848-93)中III类标准浓度限值. (5)土壤 项目所在区域土壤中砷检测值能满足《土壤环境质量标准》(GB15618-1995)二级旱地标准的要求. 3.产业政策符合性 《产业结构调整指导目录(2011年本)》中的鼓励类,第二十八条信息产业中指出:

21、新型电子元器件(片式元器件、频率元器件、混合集成电路、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高密度印刷电路板和柔性电路板等)制造 ;

22、半导体、光电子器件、新型电子元器件等电子产品用材料 均属于国家鼓励发展的产业.拟建项目生产的是高端光电子芯片,是光电子器件的重要组成部分,也是光电子器件的重要材料,因此,项目建设符合国家有关产业政策的要求. 4.城市总体规划符合性 项目厂址位于葛店经济技术开发区,用地性质为工业用地.根据葛店开发区葛店科技新城总体规划,葛店开发区将按照 传统制造业与现代制造相结合,突出产业集群式发展模式 打造能源工业园、化工工业园,生物医药工业园,现代制造业工业园,精细化工工业园、信息和高新技术产业园等特色园区. 拟建项目符合葛店开发区规划的要求. 5. 工艺流程 项目产品主要工艺流程如下: 6.污染防治措施及达标排放 6.1废水污染防治措施 本项目废水包括生产废水和生活污水两部分. 生活污水主要来源于生活及办公,主要污染因子为COD、BOD

5、SS和氨氮. 生产废水主要来源于生产工艺中的各个清洗环节以及酸雾洗涤塔喷淋废水,主要污染物为pH、化学需氧量、悬浮物和氟化物.生产废水收集后进入污水处理站进行中和调节,污水处理站设有pH自动监测系统和联动加药装置,可调节pH至6~9,处理后的生产废水与化粪池处理后的生活污水一道通过排污口排入葛店开发区污水管网,经葛店污水处理厂处理后排入长江.废水排放浓度满足GB8978-1996《污水综合排放标准》表4三级标准的要求. 项目废水排放量较小,经葛店开发区污水处理厂处理后排放,预计废水对受纳水体的影响较小. 6.2废气污染防治措施 项目废气主要包括外延尾气、有机废气、酸性废气和碱性废气等. 外延尾气:产生于MOCVD外延生长环节,主要为未参与外延生长反应的砷烷和磷烷,处理采用半导体行业通用的MO废气净化装置处理,处理原理为吸附式,处理后尾气通过20m高的排气筒排放.该装置对本项目外延废气中砷烷去除率为99%,磷烷去除率为88%,则处理后的砷烷和磷烷排放浓度及排放速率均可以满足《荷兰排放导则》(NER)限值要求. 有机废气:要污染物为光刻胶中有机溶剂的挥发和使用有机溶剂对外延片进行清洗时有机溶剂的挥发,主要污染物为非甲烷总烃.通过活性炭纤维吸附(吸附处理效率大于95%)后通过通过20m高的排气筒排放,有机废气经处理后排放浓度可满足GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》表2中二级标准要求. 酸性废气和碱性废气:本项目设置1套酸性废气处理装置,采用2~6%NaOH溶液进行洗涤,利用碱液对酸性废气进行中和,此装置对氟化物、氯化氢、硫酸雾的去除效率均高于95%,处理后的废气通过20m高的排气筒外排.处理后的污染物浓度可满足GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》表2中二级标准要求;