DOC《广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院半导体参数...》

2、响应供应商须对 采购项目技术要求 中的其他内容( 项除外) 逐条响应.如有缺漏,缺漏项视同没有实质性响应谈判文件要求,作无效响应处理.

3、本项目经政府采购监督部门同意,可以采购不属于国家法律法规政策明确规定禁止的进口产品.同时优先采购向我国企业转让技术、与我国企业签订消化吸收再创新方案的供应商的进口产品.

一、合格响应供应商条件

1、受到采购人邀请的独立承担民事责任的在中华人民共和国境内注册的法人;

2、符合《政府采购法》第二十二条规定;

3、供货商如非所报设备的制造商,必须是由制造商(或其国内总代理)针对此项目的直接授权.

4、本项目不接受联合体参加谈判.

二、项目概况

1、采购项目名称:广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院半导体参数分析仪项目

2、采购项目编号:GZSWSD16HD1004

3、采购内容、预算: 设备名称 数量 (台/套) 预算 (人民币/万元) 半导体参数分析仪

1 49

4、报价要求:报价应为全包价,包括设备制造、安装、调试和运输装卸、运营、保险、验收、售后服务和其他必要伴随设备、服务的费用、税金及合同实施过程中的应预见和不可预见费用等全部费用,以人民币为结算单位.

三、采购项目技术要求 设备名称 型号规格 数量 半导体参数分析仪 美国泰克KEITHLEY4200-SCS 1) 系统源测量单元(SMU)单元技术指标: a. 数量为3个;

其中有2个SMU的电流测量分辨率均为100 fA;

最大电流 100mA,测量精度均为30pA;

b. 第3个SMU的电流测量分辨率为0.1fA,最大电流100mA,精度10fA;

2) SMU单元其他通用技术指标(针对所有SMU单元):最大电压源210 V,电压源设定最小分辨率至少为5 (V;

电压测量精度100(V;

3)系统电容-电压(C-V)单元技术指标: a. 频率范围(至少为):1KHz-10MHz ,偏置电压(至少):±30V(差分模式下可到±60V);

b. 1.4.2 系统具备C-V参数分析能力,可提取氧化层厚度、栅面积、串联电阻、平带电压、开启电压、体掺杂、金属-半导体功函数、德拜长度、体电势等参数;

4)未来可扩充的脉冲电流-电压(I-V)模块测试指标: a. 脉冲电流-电压(I-V)模块测试指标: b. 双通道,可以同时对栅和漏加脉冲电压;

c. 脉冲发生器频率(最小频率范围):50MHz-1Hz;

d. 系统最小脉冲宽度:在脉冲发生器模式下,最小脉宽为10ns@10V,50ns@40V;

可以输出任意波形;

在脉冲I-V模式下,测量Id-Vg参数的最小脉宽为60ns@10V,140ns@40V;

e. 最大脉冲电压:80V p-p,-40V-40V;

f. 最大脉冲电流测量量程为800mA,电流测量分段量程:100nA,1μA,10 μA,100 μA,1mA,10mA,200mA,800mA;

g. 电流测量精度:0.5%+1nA;

h. 测量I和V的采样率5ns/点;

5)半导体特性分析系统主机具备计算机配置: CPU主频>

2GHz,硬盘容量>

120GB,带刻录CD/DVD驱动器,4个以上USB接口,内置100/10 MB以太网络接口,12英寸以上液晶显示器, Windows 7操作系统,可以外接显示器.

1

四、采购项目商务要求

(一)货物的一般要求

1、所有产品均应符合《中华人民共和国政府采购法》的有关规定,产品来源渠道合法.

2、成交供应商必须负责将所有货物运送至采购人指定的地点,进行安装调试.本项目所有设备应包含正常运行所需的相关连接配件,采购人不另行支付任何费用.