三、集成电路制造、封装及测试 1.集成电路制造关键技术工艺研发 2.集成电路关键元器件研发及产业化 3.集成电路关键封装设备研发和产业化 4.新型封装技术及材料研发和产业化 5.高速测试技术和设备研发和产业化