DOC《JJF（黑）》

5 校准条件 5.1 环境条件 5.1.1 校准时环境温度:(20±5)℃. 5.1.2 相对湿度:≤60%. 5.2 校准项目和校准用标准器 校准项目和校准用标准器见表3. 表3 校准项目和校准用标准器 序号 校准项目 校准用标准器及计量特性

1 平台粗糙度 表面粗糙度比较样块:MPE:+12%~-17% 表面粗糙度测量仪:MPE:±15%

2 工作面直线度 自准直仪:1级;

激光轴对中仪:5μm 注:也可采用满足测量不确定度要求的其他校准用标准器进行校准.

6 校准项目和校准方法 使用基线尺提供标准长度时,其长度应大于被校仪器的精测尺长,不确定度优于2*10-5(k=2),最小分度应小于或等于被校仪器精测尺长的1/40,反射镜中心与基线尺的测量轴线偏离距离应不大于100mm.读数装置的分度值不大于0.01mm. 使用激光干涉仪提供标准长度时,激光干涉仪应配备不少于2个材料温度传感器.反射镜中心与激光干涉仪的测量轴线偏离距离应不大于10mm. 所使用的基线尺和激光干涉仪应经过有效溯源,并在有效期内. 6.1 平台粗糙度 用表面粗糙度样块比较平台工作面的表面粗糙度时,所用的表面粗糙度样块和被校工作面的加工方法应尽可能相同,表面粗糙度样块的材料、形状、表面色泽等也尽可能与被校工作面一致.通过触摸及目视判断被校工作面加工痕迹的深浅来决定表面粗糙度是否符合要求,当被校工作面的加工痕迹深浅不超过表面粗糙度样块工作面加工痕迹深度时,则认为测量面的表面粗糙度不超过表面粗糙度样块的标称值.有争议时以粗糙度测量仪的显示数据为测量值. 岩石平台表面粗糙度用表面粗糙度测量仪直接测量,同一部位测量三次,取平均值作为校准结果. 6.2 工作面直线度 在平台一端安装自准直仪,将反射镜安装在滑块上调整反射镜及自准直仪,在平台范围内均能进行测量.将滑块靠近安装自准直仪端的平台起始位置,记录自准直仪的读数值(电子自准直仪归零);

等间隔的移动滑块,间隔距离不超过200mm,并记录自准直仪每次的读数值作为测量结果.取测量结果最大值与最小值之差作为校准结果. 沿测量轴线取一任意200mm长度测量,测量方法同上,移动间隔不超过50mm.

7 校准结果表达 校准后的平台,出具校准证书.校准证书应给出校准结果及测量不确定度.

8 复校时间间隔 由于复校时间间隔的长短是由平台的使用情况p使用者p平台质量等诸因素所决定的,因此,送校单位可根据实际使用情况自主决定复校时间间隔.建议一般为1年. 附录A 周期误差检验平台直线度测量的不确定度评定 A.1 测量方法 平台工作面直线度,将反射镜放置在滑块上,使用自准直仪直接测量. A.2 数学模型 F=|δmax-δmin 1) 式(1)中: F――平台工作面直线度;

δmax――采样点到拟合直线的最大值;

δmin――采样点到拟合直线的最小值. 图A.1 最小二乘拟合示意图 即: 上式可化为: (2) 式(2)中: q――采样点到拟合直线的最大偏差值δmax对应的序号;

p――采样点到拟合直线的最大偏差值δmax对应的序号. 上式减号左右两项中的b相互抵消,故上式可以化简为: (3) A.3 方差和灵敏系数 由式(3)可得 (4) 因为是等精度测量,故上式可化简为: (5) 化为标准不确定度的形式 (6) 上式中当时最大 (7) A.4 测量不确定度的主要来源的计算 由式(7)中可见,直线度的测量不确定度的主要来源有: A.4.1 测量仪器和测量过程引入的不确定度 A.4.1.1 自准直仪引入的不确定度 1级自准直仪在示值误差为0.2″,1m范围时为1μm,服从均匀分布,取=,则==0.6μm (8) A.4.1.2 测量重复性引入的不确定度 在重复性测量条件下,对同一位置进行10次重复性测量,测量结果为2.2μm、1.8μm、1.2μm、1.5μm、1.4μm、1.6μm、1.3μm、1.7μm、1.1μm、2.3μm. 重复性计算结果为: ==0.4μm (9) A.4.1.3 移动滑块定位误差引入的不确定度 由于滑块移动定位不准确造成的读数变化在0.4″范围以内,1m范围时为2μm服从均匀分布取=,则: ==1.2μm (10) 合成标准不确定度分量: ==1.4μm (11) A.4.2 利用最小二乘法拟合直线引入的不确定度即求解引入的不确定度 平台安装导轨为在安装是经过调整,直线度误差要求50μm/m,故引起的不确定度分量经计算忽略不计. A.5 合成标准不确定度 在测量范围为1m时,,