DOC《SIHC》

1、用户需求书中标注 号的内容为采购的主要标的(核心产品),投标人应在《报价明细表》中清晰列明 标的名称、规格型号(适用货物)、数量、单价.

2、本项目(精研一体机、喷金镀膜仪、离子减薄仪、超高相液相色谱仪)设备允许进口产品参与投标;

一、采购清单及性能要求 序号 采购品目名称 计量单位 数量 配置标准及性能要求

1 精研一体机 (透射电镜及成套前处理设备) 台1技术指标和要求: 1. 机械控制系统 1.1 工具轴承转速:500-18000rpm,可调 1.2 工具前进步径:10μm,1μm及0.5μm可选.显示步径值.并具有快进和撤回功能 1.3 工具左右移动范围:≥75mm(手动模式),≥24mm(自动模式),≥12mm(马达驱动) 1.4 工具左右移动控制参数:左右移动速度0.025-0.5mm/s 1.5自动磨抛功能:应具有时间倒计时自动控制和进程倒计数自动控制.具有自动应力反馈功能,确保样品不被破坏.可设定工具左右移动窗口,提高效率 1.6 冷却液流速控制:要求自动蠕动泵控制,可控流速范围 2. 观察系统 2.1体视镜放大倍数: 应配备品牌高端体视显微镜,放大倍数10x-70x 2.2 照明系统:要求环形LED照明,4分割. 2.3 带有坐标尺:12mm,120分格 2.4 带有可移动物镜:移动范围±5μm 2.5 对样品观察角度:0°-90°. 3. 样品臂 3.1样品臂倾斜角度:0°-60° 3.2样品角度可调整:可选配样品角度调整适配器 4. 可实现功能 4.1 应在一台设备上同时实现为光镜样品和电镜样品做定点切割、研磨、抛光、冲钻、铣削等操作 4.2 可为TEM样品制备3mm直径圆片,两边平行,厚度控制可达1μm量级 4.3 可为SEM样品进行精细修块或精细抛光 5. 操作控制 控制键:工具进程由旋钮或按键控制,其它参数由按键控制;

工具左右移动由手柄或马达驱动

二、配置清单: 1.精研一体机 1台2.体视镜套装 1套3.标尺, 供体视镜用,12mm,120分格 1个4.可移动物镜接口, 供体视镜用, 1个5.角度可调型适配器(用于固定各种样品夹),可调角度+-5度 1个 6.金刚石圆形锯片,DIA30mm,金刚石粒径30μm(用于硬、脆样品) 3个7.支持轴,与圆形锯片和抛光片载台配套 2个8.CBN圆形锯片,DIA30mm,用于钢铁材料样品 2个9.抛光片载台DIA30mm,适用于金刚砂抛光片 4个10.抛光片,9μm 金刚石,U型(40片/盒) 4个11.抛光片,2μm 金刚石,U型(40片/盒) 4个12.抛光片,0.5μm 金刚石,U型(40片/盒) 4个13.尼龙布(8片/盒)适用于最后精细抛光,用于用户自行购买的抛光颗粒悬液 2个14.工具盒,用于装载台和抛光片 1盒15.平扁样品夹(夹样品,厚度0-4mm) 1个16.平扁样品夹(夹样品,厚度3-8mm) 1个17.通用型样品夹,适用样品尺寸直径3-8mm 1个18.AFM 样品夹全套,带有插件(0-2mm) 1个19.支撑环(用来加热样品时稳定样品夹) 1个20.SEM铝台标准插件 4个21.金刚石空心钻,获得DIA3mm圆片 2个22.控制杆固定夹具 1个23.铣刀 DIA 8mm,碳化钨刀头 3个2喷金镀膜仪 (透射电镜及成套前处理设备) 台1技术指标和要求: 1.操作参数: 1.1 溅射电流:0-150mA,可调 1.2 溅射时间:1-1800秒,可调 1.3 镀膜终止:可按时间终止;

1.4工作时气压:Ar, 约1*10-2mbar,工作前真空度需达到5*10-5mbar 1.5 工作气体:高纯氩气 2. 控制系统 2.1 控制器:要求内置式触摸屏控制面板 2.2 镀膜过程控制:要求自动镀膜 3. 镀膜仪功能 3.1 镀膜靶源应采用倾角式设计,配置旋转样品台,可使镀膜最均匀 3.2 金属溅射镀膜,靶材:铂金靶 3.3 四碳丝蒸发镀膜,可选闪光式或脉冲式蒸发功能 3.4 应带有石英膜厚监控器,可根据设定膜厚自动终止镀膜,实现镀膜厚度的精确控制.控制精度0.1nm. 3.5 应带有氩气灌洗功能,以去除管路中残留气体,保证样品室内无污染 3.6 应带有预溅射功能,金属靶带有挡板保护 4. 样品室 4.1 样品室内径:不小于宽200 * 深150 * 高195 mm 4.2 工作距离:30-100mm 4.3 工作台控制:要求马达驱动旋转样品台 4.4工作台:标准工作台:≥104mm,可插入SEM样品座 行星旋转台(可插入SEM样品座) 5. 真空系统 5.1全无油真空系统:要求隔膜泵*1+分子泵*1 5.2 最优真空度:≤2x10-6mbar 6. 系统维护与清洁 样品室舱门、样品室内壁金属保护罩、镀膜挡板、靶材、样品台都应可简易拆卸,清洁