DOC《上海大学公开邀请招标购置 “多功能微晶硅真空退火炉”的公...》

上海大学公开邀请招标购置 多功能微晶硅真空退火炉 的公告 招标编号:SDSB-09100 根据《中华人民共和国政府采购法》《上海市政府采购招标暂行办法》和《上海大学仪器 设备招、投标管理办法》,上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室因教学、科研发展需要,现公开邀请招标采购多功能微晶硅真空退火炉.

设备需求 1. 设备名称:多功能微晶硅真空退火炉. 2. 技术要求: *2.1 恒温区:大于Φ250*350mm;

*2.2 炉体结构:双室结构,带有可控(电机传动)的进样机械装置,在双室之间带有水冷插板阀. 2.3 工位材质:石英管、石英(板)舟;

石英炉管内径:Φ300mm 2.4 使用温度:1100℃;

2.5 控温精度:≤1.0℃;

*2.6 温度均匀性:±1℃(200℃-1100℃工作范围,按平台表面温度验收);

2.7 升温时间:从室温升至1100℃≤50min;

*2.8 极限真空:优于4*10-4Pa(空炉、洁净、室温、充分脱气);

2.9 能够自动控制调节压强;

2.10 气路系统:带有三路供气装置,配有流量计及自动控制仪,介质为氮气、氩气、氧气;

能够实现自动控制气体输入;

2.11 安全措施:超温报警保护、断偶报警、断水报警、超压报警、加热缺相报警、电流异常波动报警等;

2.12 控制方式:工控机、触摸屏控制,多条多段工艺曲线控制(编程设定,温度自动升恒降),具备事件(报警、操作、修改、编程等)记录、数据曲线(温度、真空度等)记录,且全部记录可查看;

2.13冷却系统:风冷 3. 主机、附件详细清单 3.

1 主机 3.1.1 双室真空炉体

1 套3.1.2 进口材质石英管

1 根3.1.3 水冷插板阀

1 套3.1.4 分子泵

1 台3.1.5 进口干泵

1 台3.1.6 复合真空测量计

1 套3.1.7 自动压强控制仪

1 套3.1.8 气体流量控制仪(三路气体)1套3.1.9 真空退火炉 1台3.1.10 工控机 1台3.1.11各种连接电缆

1 套3.1.12进样石英舟、传送杆、机械装置

1 套3.1.13进口PLC控制系统

1 套3.2随机文件 3.2.1 产品使用说明书 2份3.2.2 电气原理图 1份3.2.3 主要外购件使用说明书 1份3.2.4 产品合格证 1份3.2.5 主要外购件合格证 1份3.3附件 3.3.1 电阻规管 2支3.3.2 电离规管 2支3.3.3 热电偶 2支3.3.4 所有接口密封圈 1套3.3.5 活动扳手(150)1把3.3.6 球头内六角扳手 1套3.3.7 套筒扳手 1套3.3.8 样品装载夹具

2 套4. 易损、易耗件清单和价格表 请投标人提供所投设备的备品备件、易损、易耗件清单和价格表,并承诺在质保期后3年内以不高于上述清单价格按招标人不时要求的数量及合理时间向招标人提供该易损件和备品备件. 二. 投标方资质要求:

1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定.

2、在中华人民共和国境内注册的独立法人且注册资金在人民币100万元(含100万元)以上.

3、投标方必须具有完善的质量管理体系(详细说明).

三、设备报价 报价单位应根据设备需求的规定进行报价,其报价在采购过程中是不可以改变的(除非买方对设备提出新的要求). 报价单位对设备需求中所列的设备进行报价.报价单位可以用技术规格等于或高于同类品种的设备进行报价. 进行报价的设备必须同时附设备图样,主要技术性能、主要技术指标和具体配置的书面资料. 报价以人民币报价.

四、交货时间 中标厂商须在合同签约之日起60工作日内保质保量交付所有设备和附件.