DOC《...最大可装载基片尺寸>180 cm2；极限真空度<9*10-7 mbar;...》

编辑： 枪械砖家 2018-10-28
真空腔室:金属不锈钢腔室,最大可装载基片尺寸>180 cm2;

极限真空度

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