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1 有机薄膜真空沉积系统

一、功能要求: 该薄膜真空沉积系统原理是在真空容器中将蒸镀材料(有机小分子或金属原料)加热,当达到适当温度后,大量的分子或离子离开蒸镀材料的表面形成气体流,在高真空条件下,分子或离子从蒸发源迁徙到基体的过程中不发生碰撞,因此迁徙过程中无能量损耗,当它们遇到基体后,便停留于基体表面,随着蒸镀时间的延长,在基体表面沉积形成薄膜.

主要用于各种光电薄膜器件的科学研究: 在量子点发光二极管应用中对电子传输层和空穴传输层用到的小分子沉积速率精度需达到0.0005纳米/秒. 器件中的传输层和发光层的小分子可控沉积以及传输层的可控共掺杂能够实现100:1的薄膜参杂比. 利用该设备配置的旋涂机,可以用于导电聚合物和胶体量子点等甩膜厚度的纳米级控制. 提供高精度惰性环境,水氧指标:小于1ppm.

二、技术参数 2.1整个系统需要建造在不锈钢焊接底盘上,并配备有平衡可调的支座系统整体尺寸大于等于:8英尺(长)* 6英尺(高)* 40英寸(宽). 2.2真空腔体使用304不锈钢建造,腔体内部尺寸为12英寸x12英寸x21英寸,腔体配备前后两扇门:前门为电磁驱动滑动式门,以便于与含有惰性气氛的手套箱相连接;

后门为外摆式门,便于对腔体内部的各个机械装置进行日常维护. 2.3真空系统由连接水冷压缩机的8英寸低温冷泵和无油干式机械泵组成,真空压力计由离子压力计和对流式压力计组成,测量范围:大气-1.3E-9mbar,插板阀:可使用不少于100,000次,通径不小于DN150,漏率小于1.0*10E-8Pa.L/s,电磁充气阀:24V供电,DN6, 漏率小于1.0*10E-8Pa.L/S. *2.4快速真空抽滤装置:从惰性气氛开始,系统可以在15分钟以内抽滤至低于1*10E-6 Torr的真空度;

极限真空:优于1*10-6Pa.机械泵为干式涡旋泵,机械泵转速:1800rpm;

排量:12.7m3/h;

抽速:不低于11.4m3/h;

最大连续进气口压力:200mbar;

功率:280W;

入口法兰和排气口法兰均为NW25;

密封性