PDF《附件 7》

编辑： 5天午托 2019-07-04

9 *单位产品总砷产生 量,mg/cm2 12英寸芯片及分立 器件芯片生产 0.2 ≤0.150 ≤0.210 ≤0.270 8英寸芯片及分立 器件芯片生产 ≤0.180 ≤0.250 ≤0.330 6英寸芯片及分立 器件芯片生产 ≤0.120 ≤0.170 ≤0.220 5英寸芯片及分立 器件芯片生产 ≤0.140 ≤0.190 ≤0.230 4英寸及以下分立 器件芯片生产 ≤0.140 ≤0.200 ≤0.240

10 *单位产品氨氮产生 量,mg/cm2 12英寸芯片及分立 器件芯片生产 0.2 ≤137 ≤196 ≤255 8英寸芯片及分立 器件芯片生产 ........

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