PDF《多晶硅工艺线路比较》

多晶硅工艺线路比较 1改良西门子法 改良西门子法是先用氯和氢合成氯化氢( 或外购 氯化 氢) , 氯化 氢和 工 业硅粉 在 一定 的温 度下 合成 三 氯氢硅,再对三氯氢硅进行分离精馏提纯 ,提纯后 的三氯 氢硅 在氢 还原炉 内 进行C VD 反 应生 成高 纯多晶硅 .

国 内外现 有 的多 晶硅厂 绝大 部分 采用 此法 生产电子 级 与太阳 能级 多 晶硅 . 2流化床法 流化床法 是以四氯化 硅 、氢 气 、氯化 氢 和工 业 硅为原料在流化床 内( 沸腾床) 高温高压下生成三氯 氢硅 , 将三氯氢硅进一步歧化加氢反应生成二氯二 氢硅 ,继 而生 成 硅烷 气 ,制 得的 硅烷 气通 入加有小 颗粒硅粉 的流 化床 反应炉内进 行连 续热 分解反应,生成粒状多晶硅产品.由于在流化床反应炉内参与 反 应的 硅 表面 积大,生产效 率高、电耗小 、成本 低,适用 于 大规 模生产太 阳能 级 多晶 硅 .缺点 是 安全 性差、产 品纯 度 不高 ,但 基本 能 满足 太阳电池 生产 的 使用 .此法 是美 国联 合 碳化 合 物公 司早年 研究 的工 ( 接上页) 并且具备其他采暖方式所不具备的全新风采 暖方式 , 可以有效地预防各种呼吸道疾病的传播, 真 正起到健康呼吸每一口空气 的效果 ,为人们的身体 健康和居家舒适提供有力的保障. 3可移动式太阳能干燥机 可移动式太阳能干燥机(图13)能广泛应用于农产品和食品干燥领域.这种可 移动式的小型设备 , 具有微图13可移动式太阳能干燥机 能耗、 低成本 、 高性能的特点, 适宜于通过空气加热 干燥的农 产 品和食 品,特别适 宜种子 干 燥保存 、 水产品、蘑菇 、肉制 品、 蔬菜 瓜 果类 及宠 物食 品等 高附 加值的产 品加 工.屈平白木 周洁艺技术,较适合生 产价 廉 的太 阳能级 多晶硅 ,目前 世界上只有美 国ME MC公司采用 此法生产粒 状多晶硅.3冶金 法 日本川 崎制铁 公 司采用 冶金 法制得 的 多晶硅 已 在世 界上 最大 的太 阳 电池 厂( S HA R P公司) 应用 , 现 已形成

8 0

0 吨/年的生 产能 力 ,全量 供给 S HA R P公司.冶金 法的 主要 工艺 是选 择纯 度好 的工 业硅( 即冶金硅) 进行水平区熔单向凝固成硅锭 , 去除硅锭中金 属杂质聚集的部分和外表部分后,进行粗粉碎与清 洗 ,在等离子体融解炉中去除硼杂质 ,再进行第二 次水平区熔单向凝固成硅锭,去除第二次区熔硅锭 中金属杂质聚集的部分和外表部分 ,经粗粉碎与清 洗后 ,在电子束融 解炉中去 除磷碳 杂质,直接 生成 太 阳能级 多 晶硅 . 4气液沉积法 气液沉积法以 日本 T o k u y a ma 公司为代表 ,目前10吨试 验 线正在运 行,200吨半 商业 化规 ( 转2

1 页) 六 其他应 用 目前市场上的商用干燥设备主要以燃油、 燃气、 木料 或蒸 汽作 为热 源 .这些 热源往 往 将空 气加热 至一个过高的温度, 实际上效率却比较低, 很多热量都 白白损失 掉了.有 些干燥 设 备甚 至需 要将加 热 后的 空气再 调 整到

6 0 ~ C以下 以适 应干燥 工艺 要求 ,这时 太 阳墙干 燥技 术就 会显示 出巨大 的优 势 ,可以将 浪 费的热量降至最低, 同时提高整个干燥设备的效率. 太 阳墙技 术也 可在 农村 地 区的建 筑采 暖通风 领域大显身 手 ,太 阳墙农 用 房既 能在 冬季供 暖 又能 提 供干燥加工能力.太阳墙系统还可用于畜禽圈舍的 采暖通风. 太阳墙在农村大棚 中通过土层蓄热系统, 可将 白天 多余的太阳能蓄积到夜间使用,大幅度降 低采 暖成 本.太阳墙技术还能和沼气技术结合起来 ,太阳墙 通过对沼气池 进 行加 热 ,可提 高沼气的产 气 效率 , 同时 太 阳墙 对 沼渣 进行 干燥 加工,可生 产高 效优 质 的有机 肥 .衄 . . . ~ 一~一l…一~ ~ 一一~ S oL AR E NE R6g