PDF《建设项目环境影响报告表》

1 建设项目环境影响报告表 项目名称:苏州晶湛半导体有限公司大尺寸硅衬底氮化镓外延材料研 发生产 MOCVD 机台扩建项目 建设单位(盖章): 苏州晶湛半导体有限公司 编制日期:

2019 年02 月 江苏省环境保护厅制

2 《建设项目环境影响报告表》编制说明 《建设项目环境影响报告表》由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制.

1. 项目名称……指项目立项批复时的名称,应不超过

30 个字(两个英文字段 作一个汉字) . 2. 建设地点……指项目所在地详细地址,公路、铁路应填写起止地点. 3. 行业类别……按国标填写. 4. 总投资……指项目投资总额. 5. 主要环境保护目标……指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、 学校、 医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等,应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等. 6. 结论与建议……给出本项目清洁生产、 达标排放和总量控制的分析结论, 确 定污染防治措施的有效性, 说明本项目对环境造成的影响,给出建设项目环境可行 性的明确结论.同时提出减少环境影响的其它建议. 7. 预审意见……由行业主管部门填写答复意见,无主管部门项目,可不填. 8. 审批意见……由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复.

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一、建设项目基本情况 项目名称 苏州晶湛半导体有限公司大尺寸硅衬底氮化镓外延材料研发生产 MOCVD 机台扩建项目 建设单位 苏州晶湛半导体有限公司 法人代表 程凯 联系人 袁震宇 通讯地址 苏州工业园区金鸡湖大道

99 号西北区

20 幢(NW-20 幢)517-A 室 联系电话 0512-62709125 传真 0512-62709251 邮政编码

215000 建设地点 苏州工业园区金鸡湖大道

99 号苏州纳米城西北区

19 栋4楼立项审批 部门 苏州工业园区行政审批局 备案证号及项 目代码 苏园行审备 [2018]395 号(2018-320590-39-03 -559772) 建设性质 扩建 行业类别 及代码 C2659 其他合成材料 制造 占地面积

200 平方米 绿化面积 依托现有绿化 总投资 (万元)

2922 其中:环保投资 (万元)

150 环保投资 占总投资 比例 5% 评价经费 (万元) 3.5 投产日期

2019 年6月原辅材料(包括名称、用量)及主要设施规格、数量(包括锅炉、发电机等) 主要原辅材料见表 1-1. 表1-1 主要原辅材料用量 类别名称/单位年耗量/kg 组份/规格 形态 最大 存储 量/kg 包装、储存场所及方 式运输方式扩建前 扩建 后 变化 量原辅料硅片*

840 2100

1260 100% Si 固态

200 常温,堆放 汽车运输H2

540 1350

810 99.9999%H2 气态

75 常温,40L钢瓶存储 液氮

9000 2250

0 1350

0 99.9999%N2 液态

375 常温,15m3储罐存储 Cl2

50 100

50 99.999%Cl2 气态

50 常温,40L钢瓶存储 液氨

1500 6000

4500 99.999%NH3 液态

1000 常温,40L钢瓶存储 三甲基镓

8 32

24 99.9999% Ga(CH3)3 液态 1.2 常温,1.2kg钢瓶存储 三甲基铝

4 16

12 99.9999%Al( CH3)3 液态 1.2 常温,1.2kg钢瓶存储 三甲基铟 0.1 0.4 0.3 99.9999%In(C H3)3 粉末 状0.1 常温,0.1kg钢瓶存储

4 三乙基镓 2.5

10 7.5 99.9999%Ga( C2H5)3 液态 1.2 常温,1.2kg钢瓶存储 二茂铁 0.1 0.4 0.3 99.9999%C10 H10Fe 粉末 状0.1 常温,0.1kg钢瓶存储 二茂镁 0.1 0.4 0.3 99.9999%C10 H10Mg 粉末 状0.1 常温,0.1kg钢瓶存储 丙烷

0 36

36 99%C3H8 气态

12 常温,47L压缩钢瓶 吸附剂 0.34 0.68 0.34 15~22%硅藻 土、 10~20%蛭石、 >