PDF《建设项目环境影响报告表》

1%氢氧 化钠、 60~80% 氢氧化钙 固态

500 常温, 500kg钢瓶储存 备注: * 厂区使用硅片一般为

8 英寸、6 英寸,为便于计算原辅材料中均以质量为单位统计. 本项目主要原辅材料理化性质: 表1-2 本项目主要原辅材料理化性质 名称 理化性质 燃烧爆炸性 毒理毒性 Cl2 黄绿色有刺激性气味的气味, 蒸 汽压506.62kPa/10.3℃, 熔点-101 ℃,沸点-34.5℃,相对密度(水=1)1.47,相对密度(空气=1)2.48 不燃烧,但可助燃, 一般可燃物大都能在 氯气中燃烧 高毒类:LC50: 293mg/kg(大鼠吸 入) 液氨 无色液体,有强烈刺激性气味, 蒸汽压506.62kPa/4.7℃,熔点 -77.7℃, 沸点-33.5℃, 相对密度 (水=1)0.82, 相对密度(空气=1)0.6 与空气混合能形成爆 炸性混合物 LC50:2000mg/kg( 大鼠吸入) 三甲基镓 Ga(CH3)3 无色透明有毒液体,熔点-15.8 ℃,沸点55.8℃,可安全地溶于 干燥的饱和脂肪烃及芳烃溶剂 稳定,在室温自燃, 燃烧时发出金属氧化 物白烟 / 三甲基铝 Al(CH3)3 无色液体,熔点15℃,沸点126 ℃,闪点-18℃.密度0.752g/cm3 ,常温常压下为无色透明液体 在室温自燃,燃烧时 发出金属氧化物白烟 / 三甲基铟 In(CH3)3 钢瓶中加压下为无色透明具有特 殊臭味的升华性无色液体,熔点 89℃,沸点135.8℃,与己烷、庚 烷等脂肪族饱和烃,甲苯、二甲 苯等芳香族烃以任意比例相溶 在空气中自燃 / 三乙基镓 Ga(C2H5)3 在常温常压下为无色透明液体, 熔点-82.3℃,沸点142.6℃,空气 中自燃,与水激烈反应放出乙烷 气,在乙烷、庚烷等脂肪族饱和 碳氢 化合物,甲苯、二甲苯等的 芳香族碳氢化合物中,以任意比 例相溶解 / / 二茂铁C10H10Fe 具有芳香族性质的有机过渡金属 化合物,常温下为橙黄色粉末, 钢瓶中加压下为液体,有樟脑气 味,熔点172℃~-174℃,沸点249 ℃,100℃以上能升华,不溶于水 ,易溶于苯、乙醚、汽油、柴油/急性毒性: LD50:1320mg/kg (大鼠经口) LD50:832mg/kg

5 等有机溶剂,与酸、碱、紫外线 不发生作用,化学性质稳定,

400 度以内不分解 (小鼠经口) 二茂镁 C10H10Mg 常温下为白色晶体,钢瓶中加压 下为液体,熔点 176℃,在100℃ 时升华, 对空气、 潮湿、 二氧化 碳 和二硫化碳均很敏感,溶于乙醚 、四氢呋喃、苯、二甲苯,强烈 水解 固态晶体曝置在空气 中着火 / 丙烷 C3H8 无色气体,熔点-187.6℃,沸点 -42℃,相对密度(水=1)0.58 ,闪点-104℃,微溶于水,溶于 乙醇、乙醚 易燃气体,与空气混 合能形成爆炸性混合 物/项目主要设施及设备见表 1-3 表1-3 项目主要设备一览表 序号 设备名称 型号 扩建前/台 扩建后/台 变化量/台1外延生长设备MOCVD AIXTRON/AMECD480

2 5

3 2 烤盘炉(电加热) HBM-1000G

1 1

0 3 光致发光测试仪 PLA TO

1 1

0 4 显微镜 olympus BX51

1 1

0 5 燃烧式尾气处理器 (电 加热) NSGC 1.5K

2 5

3 6 吸附式尾气处理器 CA-320FS

1 2

1 表1-4 水及能源消耗量 名称 消耗量 名称 消耗量 水(吨/年)

225 燃油 / 电(万千瓦时/年)

90 燃气(标立方米/年) / 燃煤(吨/年) / 其他 / 废水(生产废水、生活污水 √ )排水量及排放去向 厂区无生产废水产生,本次扩建主要产生生活污水,生活污水年产生量 180t/a,生 活污水排入市政污水管网,由园区第二污水处理厂处理达标后排入吴淞江. 放射性同位素和伴有电磁辐射的设施的使用情况 无6工程内容及规模:

1、项目由来 苏州晶湛半导体有限公司成立于