DOC《厦门大学》

电话:传真: 投标代表姓名,职务 投标人全称(加盖公章) 日期 年月日格式2 报价一览表 投标人全称(加盖公章) 报价项目: 合同包 货物 名称 品牌 型号 规格 制造商 数量 单价 合价 质保期 投标代表签字 职务 时间: 格式3 规格、技术参数偏离表 报价人全称(加盖公章) 合同包: 招标要求 报价响应 合同包/品目号 货物名称 规格条目号 招标文件要求 报价响应情况 报价响应对应的页码 偏离说明 注:

1、报价人提交的报价文件中应将报价货物或服务项目按采购要求的技术、商务、服务等要求逐条列明,说明报价响应情况.

2、报价人应保证报价响应情况的正确性、真实性,报价人存在弄虚作假行为的,将依法承担相应的法律责任. 报价代表签字: 日期: 格式4 制造商出具的授权书(参考格式) 厦门大学物资科: 我方 (制造商名称)是按 (国家名称)法律成立的一家制造商,主要营业地点设在 (制造商地址).兹指派按 (国家)的法律正式成立的,主要营业地点设在 (投标人地址)的 (投标人名称)作为我方真正的和合法的代理人进行下列有效有活动: (1)代表我方在中华人民共和国办理贵方 (采购编号)采购邀请关于 (采购项目名称)要求提供的由我方制造的 (货物名称)的有关事宜,并对我方具有约束力. (2)作为制造商,我方保证以投标合作者来约束自己,并对该投标共同和分别承担招标文件中所规定的义务. (3)我方兹授予 (投标人)全权办理和履行上述我方为完成上述各点所必须的事宜,具有替换或撤消的全权.兹确认 (投标人)或其正式授权代表依此合法地办理一切事宜. 我方于 年月日签署本文件,贸易公司名称)于年月日接受此件,以此为证. 投标人名称: 出具授权书的制造商名称(加盖公章) 正式授权签字代表 姓名、职务和部门: 格式5 法定代表人授权书(原件) 兹有 (单位名称)的法定代表人 (姓名)授权 (被授权人姓名)为厦门大学 物资采购的采购代理人,以本公司名义处理一切与之有关的事宜. 本授权书仅对该项目有效,特此声明. 法定代表人签字: 被授权人签字:职务: 投标单位详细地址: 邮政编码:E-mail: 联系电话/传真号码: 投标人全称(加盖公章): 年月格式6 售后服务承诺 致:厦门大学物资科 根据贵方为 采购项目的采购邀请,我司对该项目做出如下售后服务承诺: (内容根据采购文件要求自拟) 投标人全称(加盖公章): 年月日格式7 报名函 致厦门大学招投标中心 根据贵方为_采购编号)采购项目及服务的投标邀请,我单位已详细审查全部采购文件,包括修改文件(如有的话)以及全部参考资料和相关附件.我们完全理解并同意放弃对这方面有不明及误解的权利.我单位确认参加贵方采购编号:采购投标(如有合同包,请写明要投标的合同包). 投标代表: 联系

电话: 投标人全称(加盖公章): 年月日附件1: 磁控溅射仪参考技术要求 1.系统功能.直流磁控溅射方式镀膜;

磁控共溅射方式镀膜;

磁控垂直溅射方式镀膜;

全自动控制功能.镀膜材料包括:金属、合金、磁性材料、半导体、介质材料等薄膜. 2. 真空获得系统.抽速600升/秒复合分子泵(指定中科科仪产品)、抽速8升/秒机械泵(日本真空ULVAC独资宁波爱发科)实现真空抽气,Φ150mm电动调节插板阀(指定中科科仪产品). 3. 工作压力控制.具有工作状态的真空压力在线高精度测量及自动压力控制能力,工作状态压力在线测量采用进口真空规管. 4. 磁控靶.Φ80mm磁控靶三只,溅射距离可调,溅射角度精度1°,其中一只为针对于Fe材料溅射的强磁靶. 5. 样品工件架及高效率实验模式.样品盘共有7个样品工位,6个Φ2英寸样品工位,及一个 Φ4英寸样品一片,样品托盘可按用户样片尺寸定制.垂直溅射模式下,抽一次真空可以完成至多6片样品独立的、相互无污染的工艺实验.垂直溅射、倾斜溅射模式为一套工件盘. 6. 样品加热.配备四套加热系统,样品加热温度不低于300℃,每个样品溅射时都可以在线加热. 7. 溅射电源配置. 1000W直流电源两台,电源可参与自动化控制. 600W射频电源及自动匹配器,一套,(进口产品) 8. 配有偏压电源,并支持样品的偏压清洗与辅助沉积 . 9. 工艺气路.Ar质量流量控制器1台. 10. 极限真空.优于6.7*10-5 Pa 11.漏率.优于5*10-7PaBL/s 12.静态升压.停泵关机12小时,真空度≤6.7Pa. 13.抽速:系统短时暴露大气,从大气抽至6.7*10-4Pa时间≤40分钟. 14. 溅射不均匀性:≤±5%(垂直溅射,Φ1.5英寸范围内;