DOC《厦门大学》

编辑： xiong447385 2018-12-24

倾斜溅射:Φ3英寸范围内) 15. 采用全自动控制方式,包括:工控机、显示屏、进口PLC、控制软件等,支持从放入样品到工艺完成全过程的计算机自动控制,无需人工操作.

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