PDF《TEM样品制备技术》

编辑： jingluoshutong 2013-03-31

3 3. . 离子减薄仪器 离子减薄仪器 宽束离子减薄仪 宽束离子减薄仪 低角度离子减薄仪 低角度离子减薄仪 聚焦离子束减薄仪 聚焦离子束减薄仪 低能离子减薄仪 低能离子减薄仪500V 500V一一2.5kV 2.5kV 氩离子减薄后的 氩离子减薄后的Si Si材材料薄膜样品 料薄膜样品 对粘样品窄窄的缝 对粘样品窄窄的缝 宽度三十纳米 宽度三十纳米 材料中心部分厚度 材料中心部分厚度1

1 微米左右 微米左右 样品表面明显损伤 样品表面明显损伤 加速电压过高造成 加速电压过高造成 的损伤 的损伤 Si Si衬底上多层膜截面样 衬底上多层膜截面样........

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