DOC《子规划2:》

(一)发展思路 深入贯彻落实科学发展观,充分发挥重大科技专项、战略性新兴产业发展的引领作用,推动形成以企业为主体、产学研用结合的技术创新体系;

以市场亟需的、带动性较显著的电子专用设备、电子测量仪器为重点,集中力量重点突破,开发满足国家重大战略需求、具有市场竞争力的关键产品,批量进入生产线,提升市场自给率;

以承担重大专项为契机,形成一批自主知识产权核心技术,扶植起一批电子专用设备仪器重点企业.

(二)发展目标

1、经济指标 十二五 时期,我国电子专用设备产业将实现17%的年均增长速度,其中骨干企业年均增长20%,到2015年实现销售收入400亿元;

电子仪器产业年均增长速度达15%,到2015年实现销售收入达到1800亿元.

2、创新指标 12英寸65纳米集成电路制造装备实现产业化,研发成功45纳米-32纳米制造装备整机产品并进入生产线应用.在若干技术领域形成具有特色的创新技术和创新产品,大幅提升创新实力和差异化竞争能力.研发出8-10种前道核心装备、12-15种先进封装关键设备并形成批量生产能力. 缩小我国集成电路设备、工艺技术水平与当时国际先进水平的差距,除光刻机外基本缩小到1代甚至基本同步;

晶硅太阳能电池设备达到国际先进水平;

表面贴装设备除自动贴片机外达到国际先进水平;

集成电路后封装设备、液晶显示器件后工序设备、发光二极管(LED)设备(除金属有机化学气相沉积设备外)、片式元件设备、净化设备、环境试验设备接近国际先进水平. 电子仪器总体技术水平达到2005年前后国际先进水平,在新一代移动通信、数字电视、绿色环保等应用领域的电子仪器基本达到与国际先进水平同步.

四、主要任务和发展重点

(一)主要任务

1、围绕战略性新兴产业,提升配套能力 加强为战略性新兴产业配套的电子专用设备仪器的研发和产业化,围绕集成电路、太阳能光伏、中小尺寸平板显示、下一代通信等重点领域所需电子专用设备仪器,大力推进关键技术研发和产业化,加快产品推广应用进程.

2、加强基础能力建设,提升产业整体水平 针对关键设备和仪器产业化水平低、可靠性差等问题,加强基础工艺研究,提升重点设备和仪器质量水平,积极发展电子专用设备制造的关联产业和配套产业,加大技术改造投入,提高基础零部件和配套产品的技术水平,不断满足电子信息制造业发展的需要.

3、以重大专项实施为契机,加强产业互动 引导承担重大专项的企业在攻克........