PDF《PILine线性平台》

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11.2018 带超声波压电电机的紧凑型线性平台 精密级线性定位平台 PILine平台尤其适合要求快速精密定位的应用.关机后,自锁驱动器保持平台位置的机械稳定.因而可大大减少能量 消耗和热量产生.蓄电池驱动或热敏型的低占空比应用可得益于这些特点.轴的位置通过一个编码器和一个光学参考 开关测量,该开关允许可靠的可重复运动.压电电机驱动器原理及其电气操作成本低,可定制. PILine超声波压电电机 作为PILine超声波压电电机不可或缺的一部分,压电陶瓷促动器上被施加预载,通过一个耦合元件抵住移动导向转子 .在100至200千赫兹的高频交流电压的作用下,压电陶瓷促动器被激发产生超声波谐振.促动器的变形使耦合元件 相对于转子产生周期性的对角运动.建立的进给为几纳米每循环;

高频率带来高速度.在压电陶瓷促动器上相对于动 轮施加预载可确保驱动器在静止状态下和关机时自锁. 增量编码器用于高精度位置测量 非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置.非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响. 应用领域 显微操纵、自动化、生物科技、样本操纵、样本定位、有限空间内的应用、真空应用可达10 -6 百帕(可选). U-521 PILine线性平台 ? 快速精密定位小型负载:速度达200毫米/秒,最小位移达0.3微米 ? 节省空间:宽仅35毫米、高仅15毫米 ? 关机后自锁:节约能量,减少热量产生 ? 静音 ? 可按需提供定制版本 05.11.2018 规格 运动 U-521.23 U-521.24 单位 公差 主动轴 x x 行程

18 18 毫米 速度,闭环

200 200 毫米/秒 最大 最小位移

2 0.3 微米 典型值 系统分辨率 0.4 0.1 微米 双向重复性 ±2 ±0.2 微米 线性误差(全行程范围内)

8 4 微米 螺距 ±300 ±300 微弧度 偏转角 ±300 ±300 微弧度 定位 U-521.23 U-521.24 单位 公差 传感器类型 增量编码器 增量编码器 测量原理 光学 光学 测量方法 直接测量 直接测量 传感器分辨率 0.4 0.1 微米 典型值 机械特性 U-521.23 U-521.24 单位 公差 压应力

2 2 牛 最大 拉力

2 2 牛 最大 驱动特性 U-521.23 U-521.24 单位 公差 电机类型 PILine超声波压电电机,性能级别1 PILine超声波压电电机,性能级别1 驱动力

2 2 牛 最大 保持力

2 2 牛 最大 连接器 U-521.23 U-521.24 单位 公差 电机/传感器

1 * Sub-D 15针(公头)

1 * Sub-D 15针(公头) 05.11.2018 其他 U-521.23 U-521.24 单位 公差 参考点开关 光学 光学 工作温度

0 到40

0 到40 °C 材料 铝,阳极氧化致黑 铝,阳极氧化致黑 质量(平台不带电缆和连接器)

40 40 克 质量(平台带电缆和连接器)

160 160 克 电缆长度 1.5 1.5 米 典型值 推荐电控 C-867.1U C-867.1U 规格由C-867.1U控制器确定. 所有规格参数基于室温(22°C±3°C). 可按需提供真空达10 -6 百帕的版本.. 真空版本的规格可能会有所不同. 05.11.2018 图纸/图片 U-521, 尺寸单位为毫米 05.11.2018 多轴装置由两个U-521线性平台和一个U-624转台组成,无接装板 订购信息 U-521.23 带PILine 超声波压电电机的小型线性平台,宽度为35毫米,驱动力为2牛,行程为18毫米.采用增量编码器实现直接位置测量 ,0.4微米分辨率,Sub-D连接器 U-521.24 带PILine 超声波压电电机的小型线性平台,宽度为35毫米,驱动力为2牛,行程为18毫米.采用增量编码器实现直接位置测量 ,0.1微米分辨率,Sub-D连接器 U-521.23V 带PILine 超声波压电电机的小型线性平台,宽度为35毫米,驱动力为2牛,行程为18毫米.采用增量编码器实现直接位置测量 ,0.4微米分辨率,Sub-D连接器,真空兼容至10 -6 百帕 05.11.2018 U-521.24V 带PILine 超声波压电电机的小型线性平台,宽度为35毫米,驱动力为2牛,行程为18毫米.采用增量编码器实现直接位置测量 ,0.1微米分辨率,Sub-D连接器,真空兼容至10 -6 百帕 配件 U-600.A01 用于PILine的延伸电缆,Sub-D15针,1 米U-600.A03 用于PILine的延伸电缆,Sub-D15针,3米U-600.A05 用于PILine的延伸电缆,Sub-D15针,5米