PDF《气体质量流量控制器（流量计）》

气体质量流量控制器(流量计) S48 28/HMT 使用说明 (Ver.

2.0) 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司 目录 1. 概述.1 2. 名词解释.2 3. 工作原理.5 4. 技术指标.7 5. 产品安装.8 6. 使用方法和操作步骤

15 7. 警告和注意.18 8. 故障判断和处理

20 9. 附录:标定和不同气体的换算

22 1 1. 概述 本产品为热式质量流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布, 造成上下游温差方法,而测得气体质量流量.不同于容积式流量计,其流量精度 不受气体压力、环境温度影响.由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量, 所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制. 1.1 使用范围 质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制. 1.2 质量流量控制器(流量计) 质量流量控制器 (流量计) (Mass Flow Controller (meter) 缩写为MFC (MFM) ), 具备流量测量和流量控制两种功能. 1.3 S48 28/HMT质量流量控制器(流量计)的特点 S48 28/HMT型质量流量控制器(流量计)是在HORIBA STEC引进技术基础上, 结合国内需要而研制的一种质量流量控制器产品. 具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点. 耐压高及适用于真空条件下工作.气体流量不因温度、压力的变化而变化. 气阻较小,工作压力范围宽.

2 主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用PTFE、氟橡胶等.耐腐蚀性强. 可任意角度安装. 电气操作控制显示,使用方便.易于与电气系统或自动控制系统配合工作. 配合MT-56系列流量显示仪,可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量. 型式批准证书:2011F215-11 执行 Q/CYHMT001-2011 企业标准 许可证编号:京制

01050063 号2.名词解释 2.1 质量流量 以单位时间内流过某截面的流体质量表示的流量.气体质量流量一般将其换 算成标准状态下的 体积/分钟 来表示.例如:毫升/分钟即 mL/min (SCCM行业 标准), 升/分钟即 L/min (SLM行业标准). 标准状态为:气体温度―― 273.15K (0℃);

气压――101325Pa(1atm) 2.2 F.S.(Full Scale) 表示满量程值

3 2.3 准确度 满量程精度:控制器示值与标准器测量的实际值之差与满量程(F.S.)实际 值相比的百分比值.如:±1.0% F.S.(带后缀F.S.). 2.4 标定条件 标准状态下,氮气N2标定.如果某质量流量计标定为其它种类气体,则是经 过换算,而成为所标定的气体在标准状态下用 体积/分钟 表示的质量流量. 2.5 响应时间 当设定值发生阶跃变化(例: 0?100%),气体流量将跟随改变,经过一段时间 将达到相对最终稳态值的误差范围之内,经过的这段时间就叫响应时间. (T98)表示离最终稳态值相差±5%F.S.的时刻. 2.6 工作压力范围与耐压 工作压力范围是指能保证控制器在全量程范围内正常稳定工作的最小到最大 的入口与出口压力差. 耐压是指控制器管路内压力相对安装环境(大气压)的安全不泄露的极限 耐受压力. 2.7 流动方向 气流流过流量控制器(流量计)的方向.

4 由于热式流量计产品结构特点,决定了气流流动方向只能是阀体上箭头所示 方向,不能装反,否则将无法使用或损坏. 2.8 阀控选择 在控制器插头"阀控"引出脚加高电平,如+15VDC(见插座定义),阀将处于清洗 状态,即阀开度最大;

若"阀控"引出脚悬空,阀将进入阀控状态,由设定值来控制阀开度;

若"阀控"引出脚加低电平,如-15VDC(见插座定义),阀将处于关闭状态;

S48 32/HMT质量流量控制器在"阀控"引出脚所加的"清洗"和"关闭" 命令,优先于"设定输入"执行,即不管设定输入为何值. 2.9 自动关闭 设定值小于约1.5%, 阀将自动关闭. 所以, 控制器的控制范围为满量程的2%~100%. 2.10 自动调零 质量流量控制器(流量计)由于环境的变化和长时间的使用,可能出现零点漂 移的情况.为了得到更高的流量控制精度,需要对零点进行修正.S48

28 /HMT 质量流量控制器(流量计)具备自动调零功能.当零点偏移时,可以自动调整零点. S48 28/HMT质量流量控制器(流量计)在设定输入为0V(约1.5%以下)且保持5分钟 以上时,自动调零电路会对零点进行自动调整.

5 3. 工作原理 图一 热式质量流量控制器的工作原理 质量流量控制器(流量计)由质量流量传感器,分流器通道,流量控制调节 阀和放大控制电路等部件组成. 本流量控制器(流量计)利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布

6 的热传导分布效应而制成,即热分布式流量计(Thermal Profile Flowmeter). 采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,可以不受温度压力的 影响.将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得 的差值信号放大去驱动控制调节阀门.通过实时的流量检测闭环,去控制流过通 道的流量使之与设定的流量相等. 分流器在主通道和毛细管间产生层流,控制输出的流量检测电压与流过通道 的流量成比例. 控制调节阀为比例电磁阀,随所加在电磁线圈上的电流大小而相应改变阀门 开度. 控制器供电电源为±15V时,一般与MT-56系列流量显示仪连接使用.与之配 套使用的MT-56流量显示仪备有提供±15V直流电源供电,流量信号显示,流量设 定操作等功能.质量流量控制器(流量计)与MT-56型流量显示仪通过电缆连接. 控制器供电电源为+24V时,一般与MT-53系列流量显示仪连接使用.与之配 套使用的MT-53流量显示仪备有提供+24V直流电源供电,流量信号显示,流量设 定操作等功能.质量流量控制器(流量计)与MT-53型流量显示仪通过电缆连接.

7 4. 技术指标 S48 28/HMT质量流量控制器主要技术指标 编号 项目 S48 28/HMT

1 流量规格 (100,150,200)L/min

2 调节阀类型 电磁调节阀

3 调节阀静止状态 常闭

4 安装角度 任意

5 流量控制范围 5%-100%F.S.

6 流量测量范围 0%-100%F.S.

7 响应时间

2 sec(T98)

8 工作环境温度 5-50℃

9 精度保证温度 15-35℃

10 精度 ± 1.0%F.S.

11 线性精度 ± 0.5%F.S.

12 重复性 ± 0.2%F.S.

13 工作压差 (100/150/200)L/min:(100/150/200)-300kPa(D)

14 耐压 3MPa(G)

15 泄漏率 1*10 -8 Pa?m

3 /s (He)

16 接触气体材料 316L,PTFE, Viton

17 管路接头 Swagelok:3/8″ Φ

10 VCR:1/2″VCR:1/4″3/8″

8 18 供电电源 ± 15VDC(±5%) +15V,