编辑: bingyan8 | 2019-11-28 |
新型铸锭硅芯工艺流程坩埚 准备 硅料 装填 装炉 铸锭 出炉 切割成 硅芯 制备涂层 将装填好硅料的坩埚 装入硅芯铸锭炉 目前硅芯方锭最大长度 2900mm*255*255 原生硅100%比例 单炉次投料450公斤 经过抽真空、加热、熔化、 长晶、退火、冷却六大步骤 经截断、粘棒、切割 三个工序切割成硅芯 二.关键杂质元素的浓度注:a.15-7代表底部硅芯、8-1代表中上部硅芯、3-10代表顶层硅芯.b.检测方法:低温傅里叶变换红外光谱法.二.关键杂质元素的浓度注:a.15-7代表底部硅芯、8-1代表中上部硅芯、3-10代表顶层硅芯.b.检测方法:低温傅里叶变换红外光谱法.二.关键杂质元素的浓度注:a.第一层代表顶部硅芯、依次至十六层代表底部硅芯.b.检测方法:常温傅里叶变换红外光谱法-布鲁克ALPHA.三.硅芯电阻率轴向分布注:a.以上为铸锭和直拉硅芯通过七点电阻率测得电阻率轴向分布趋势..b.由于生长方向与长度方向垂直,铸锭硅芯单支电阻率相对更均匀.四.东升铸锭硅芯的优势质量优势?铸锭硅芯中磷、硼、碳的浓度接近直拉硅芯?铸锭硅芯中氧浓度约为直拉硅芯的30%-50%?硅芯电阻率轴向分布均匀,还原炉生产时更易击穿且沉积生长均匀四.东升铸锭硅芯的优势成本优势?由于铸锭硅芯的成本优势,对太阳能级多晶硅的生产起到一定的降本意义,折合至每吨多晶硅生产成本可降低约300-400元/吨.五.东升铸锭硅芯的下一步提升目标杂质元素种类 硅芯中的含量降低至 硼(B)