PDF《半导体晶元的制造过程（补充说明）》

在半导体器件中,有多达数千万甚至数亿个如晶体管之类的元件集 成在只有几毫米的硅芯片上.

将这些元件与铜等多重的金属布线进行连接,以形成电子电路. 每个晶体管只有两千万分之一米左右的大小,用肉眼无法看见.这 么微小的晶体管到底是如何制造的呢? 在半导体的生产工厂,在晶元上通过极其细微的加工进行制造.在 一枚晶片上一共要制造出成千上百个这样只有几毫米大小的半导体 器件(芯片).这道制造工序叫做晶元工艺,这道工艺的流程则被 称为Process Flow(工艺流程).这里将简要地介绍晶体管与多层布 线的制作方法. 半导体晶元的制造过程(补充说明)