PDF《提高半导体制造中的晶圆电路图案质量》

cn.

vaisala.com 光掩模 透镜 带光刻胶的 晶圆薄片 提高半导体制造中的晶圆电路图案质量 用于气压、 温度和湿度精确测量的仪表 晶圆制 造 需要对周围 环 境高度 控制,并需要获得精确的制造环境数 据.这些基本元素能够确保在晶圆表面曝光 的电路图案的高度精确性和高速度. 维萨拉传感器技术是专门设计用于此类苛 刻环境中的精确测量-BAROCAP?、 HUMICAP? 以及DRYCAP?传感器技术可确保获得卓 越的精度、 长期稳定性和快速响应时间. 另外, 维萨拉已为半导体市场这一特殊 行业提供服务超过15年以上,开发出满 足行业精确要求的产品.本宣传页对相 关产品及其特点和优点做了详细介绍. 通过精确、稳定的测量大气压力、温度和湿度,可大幅度提升厂房空调的精 密调节程度和晶圆步进机精密加工能力. 使用一只变送器实现气压、 湿度和温度三种参数的测量 维萨拉PTU300是能够同时测量三种关键参数的独特产品. 这一多功能变送器具有多个接口, 其中包括RS-232 (标配) 、 RS-485 (选配) 以及LAN和WLAN通讯选项. 由于具备卓越的精确度, 其成为激光干涉仪补偿的理想选择. 请访问网址cn.vaisala.com/PTU300查看数 据表和更多信息. 湿度监测方面 如果您不需要测量压力, 那么维萨拉 如果您不需要测量湿度,则 维萨拉PTB330大气压力变送器是您的最佳选 择. 它具有与维萨拉PTU300相同的可靠性 和稳定性, 可随客户要求实现高度定制. 更多信息请访问 cn.vaisala.com/PTB330 如果您正在寻找一款用于压力变化补偿 的简单紧凑型仪表, 则维萨拉PTB210大气 压力计是您的理想选择. 更多信息请访问 cn.vaisala.com/PTB210 HMT330温湿度变送器是您的最佳选择. 配合PTB330系列压力测量产品, 该变送 器可提供多种探头和定制方案. 更多信息 请访问 cn.vaisala.com/HMT330 维萨拉HMT310温湿度变送器设计紧凑, 宽广的探头选择范围与HMT330系列相 同. 更多信息请访问 cn.vaisala.com/HMT310 在一般湿度测量方面, 维萨拉HMP110 、 HMT120以及HMP60是最具成本效益的选 择. 更多信息请访问 cn.vaisala.com/HMP110 cn.vaisala.com/HMT120 cn.vaisala.com/HMP60 维萨拉DMT340系列产品可为工艺气体管 线在线监测提供精确测量方案 (氮气和 压缩空气) . 若需完整参数, 请访问 cn.vaisala.com/DMT340 适用于 O E M设备厂商的维萨拉紧凑型 DMT143露点探头. 该款变送器可直接安装 在加压系统内, 维护需求较低. 更多信息 请访问 cn.vaisala.com/DMT143 现场仪表检验方面 空气压力变化补偿方面 维萨拉还为现场抽检和校准提供一系列 便携式高品质仪表, 如便携式温湿度仪表 HM

70、 便携式露点仪表DM70和PTB330TS 便携式压力仪表. 更多信息请访问 cn.vaisala.com/HM70 cn.vaisala.com/DM70 cn.vaisala.com/PTB330TS 关于维萨拉半导体行业的产品,请访问 cn.vaisala.com/semiconductor 工艺气体管线的质量监测方面 cn.vaisala.com Ref. B211292ZH-A ?Vaisala

2014 本资料受到版权保护,所有版权为Vaisala及其合伙人所有. 版权所有,任何标识和/或产品名称均为Vaisala及其合伙人的商标.事先 未经Vaisala的书面许可,不得以任何形式复制、转印、发行或储存本手册 中所包含的信息.所有规格,包括技术规格,若有变更,恕不另行通知. 此文本原文为英文,若产生歧义, 请以英文版为准. 更多详情,请访问 cn.vaisala.com, 或联络我们: [email protected] 维萨拉环境部客户支持

电话:

400 810

0126 扫描二维码,获取更 多信息