PDF《微纳米光电器件用单层 MoS》

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5 / j . j x a t u. e d u. c n .

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2 微纳米光电器件用单层 M o S

2 的制备与结构表征 坚佳莹1,

2 ,常洪龙2 ,岳皎洁1 ,董z凡1 ,孙娴1 ( 1. 西安工业大学 电子信息工程学院, 西安

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0 0

2 1;

2. 西北工业大学 机电学院, 西安

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7 2 ) 摘要: 为了满足高性能光电器件对单层 M o S

2 的需要, 文中采用扫描电镜和拉曼光谱, 研 究了保温生长时间和氩气流速对硫化三氧化钼化学气相沉积法在蓝宝石衬底上生长 M o S

2 形貌、 尺寸、 结构和层数的影响. 研究结果表明: 在反应物质量比和反应温度一样的条件下, 沉积 产物的种类主要受氩气流速的影响, 氩气流速为3 0s c c m 时, 沉积产物为菱形 M o S

2 与MoO2的混合物;

氩气流速为5 0,

7 0s c c m 时, 沉积产物为单层三角形 M o S 2. M o S

2 的结构主要受保温 生长时间的影响, 保温生长时间为1 5,

3 0m i n时, 沉积产物为单层三角形 M o S 2;

保温生长时间 达到6 0m i n后, 生长物为连成一片的多层 M o S 2. 单层 M o S

2 的尺寸随保温生长时间和氩气流 速的增大而增大, 当保温时间为3 0m i n, 氩气流速为7 0s c c m 时, 生长出了尺寸达到9 0μ m 的 单层三角形 M o S 2. 关键词: 单层二硫化钼;

化学气相沉积;

微纳米光电器件;

拉曼光谱 中图号: T B

3 9 文献标志码: A 文章编号:

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6 5 (

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1 8 )

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0 3

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0 6 镒 状 淅 镒 胬 樽 锢2 状荦 嶙? 淋 樽1,

2 , 淋 镒镒2,犊 1,宪 遄嶙1 , 犁 哲 嶙1 ( 1. S c h o o l o fE l e c t r o n i c I n f o r m a t i o nE n g i n e e r i n g , X i '

a nT e c h n o l o g i c a lU n i v e r s i t y , X i '

a n7

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0 2 1, C h i n a ;

2. S c h o o l o fM e c h a n i c a lE n g i n e e r i n g , N o r t h w e s t e r nP o l y t e c h n i c a lU n i v e r s i t y , X i '

a n7

1 0

0 7 2, C h i n a ) :Ino r d e r t om a k es i n g l e ? l a y e rM o S 2m e e t t h en e e do fh i g h ? p e r f o r m a n c ep h o t o e l e c t r i cd e v i c e s , t h ep a p e rs t u d i e s , u s i n gas c a n n i n ge l e c t r o nm i c r o s c o p ea n dR a m a ns p e c t r u m, t h ee f f e c t so fh o l d i n gt i m e a n da r g o nf l o wr a t eo nt h em o r p h o l o g y , s i z e , s t r u c t u r ea n dl a y e rn u m b e ro fM o S

2 w h i c hi sd e p o s i t e do n t h es a p p h i r es u b s t r a t eb yt h ev u l c a n i z e d m o l y b d e n u mt r i o x i d ec h e m i c a lv a p o rd e p o s i t i o n m e t h o d . T h e s t u d yf i n d s t h a t t h e t y p e so f t h ed e p o s i t e dp r o d u c t d e p e n d sm a i n l yo n t h e a r g o n f l o wr a t ew h e n t h em a s s r a t i oo fS / M o O

3 a n dt h er e a c t i o nt e m p e r a t u r ea r ec o n s t a n t . Wh e nt h ea r g o ng a sr a t ei s3 0s c c m, t h e d e p o s i t e dp r o d u c t i s am i x t u r eo fm o l y b d e n u md i s u l p h i d e a n dm o l y b d e n u md i o x i d e . Wh e n t h e a r g o n f l o w r a t e sa r e5 0,

7 0s c c m, t h ed e p o s i t e dp r o d u c ti st r i a n g u l a rs i n g l e ? l a y e r M o S 2. T h es t r u c t u r eo fM o S 2i s m a i n l yd e p e n d e n to nh o l d i n gt i m e . Wh e nt h eh o l d i n gt i m e i s1 5,

3 0m i n, t h ed e p o s i t e dp r o d u c t i ss i n g l e ? l a y e rM o S 2. Wh e nt h eh o l d i n g t i m e e x c e e d s

6 0m i n, t h ed e p o s i t e dp r o d u c t i sm u l t i l a y e rM o S 2. T h e s i z eo f 第3 8卷第4期2018年8月西安工业大学学报JournalofX i '