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11 系列基本型质量流量控制器,采用内部补偿 型层流压差专利技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运 动.内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体 积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正.所有Alicat 质量流量控制器均具有 NIST 可溯源校准证书.Alicat 的11 系列数字式质量流量控制器可用于快速精确地测量并控 制过程气体的质量流量.采用快速稳定的优质电磁阀以及优化 的PID 调校,可达到优于 100ms 的控制速度,并保持极佳稳 定性. 电话010-64449938 010-64449937 传真低价位产品 标配模拟控制方式,数字可选 高量程比 200:1 响应时间快 仅需 100ms(可调) 介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体 介质种类 单种气体标定,请参考背面气体兼容表 量程从0-10SCCM 到0-20SLPM(详情请咨询) 量程比200:1 最大显示流量 102.4%FS 精度±(0.8%RD+0.2%FS),RD- 读数 FS- 满量程 重复性±0.2% FS 零点漂移 & 满量程漂移 0.02% FS / ℃ / Atm 预热时间