PDF《基于 AZO/VO2 /AZO 结构的电压诱导相变红外光调制器》

编辑： 棉鞋 2013-03-08

250 W, 真空优于

1 * 10?8 Torr (1 Torr = 1.33322 *

102 Pa). 用美国Lambda1050 型UV/VIS/NIR 分光光度计测量样品的光学特性, 波长范围为 300―2300 nm. 测试中用 KER3100- 08S 加热台对样品进行精密温度控制, 控温精度为 ±0.1 ? C. 采用美国 Keithley 公司生产的 4200-SCS 型半导体参数测试仪测试 AZO/VO2/AZO 三明治 结构的电致相变特性.

3 结果与分析 图2是AZO, VO2/AZO 和AZO/VO2/AZO 三明治结构的 XRD 图. 图2(a) 为AZO 透明导 电膜........

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