PDF《退火对熔石英表面损伤修复点损伤增长的影响》

编辑： 芳甲窍交 2013-03-08

10 ? C/min的升温速度加热样品 至设定温度, 然后保温一定时间, 保温结束后则以

10 ? C/min的降温速度将样品冷却至室温. 为控制 退火对元件面形的影响, 考虑到康宁熔石英元件的 应变温度点为

893 ? C. 实验中主要选取 650, 750和850 ? C 三个低于应变点的温度段, 并以

750 ? C 为 主要研究对象, 其退火时间分别为 6, 8,

10 和12 h. 而650和850 ? C处理的样品均只保温10 h, 每个样 品只采用一个参数进行处理. 为进一步减少退火环境对元件表面产生的污 染, ........

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