PDF《4200-SCS》

1 半导体 4200-SCS 型技术数据 4200-SCS 半导体特性分析系统 技术指标 4200-SPEC Rev.

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2 半导体 4200-SCS 型技术数据 4200-SCS 介绍 4200-SCS 型半导体特性分析系统是用于器件、材料和半导体工艺参 数分析的完整解决方案.这种先进的参数分析仪具有无可比拟的测量 灵敏度和精度,同时融合嵌入式 Windows 操作系统和吉时利交互式 测试环境,为半导体器件特性分析提供了直观的高级功能.它是一套 功能强大的单机解决方案. 为全面了解任何器件或材料,要求三种基础电气测量技术.4200- SCS 型提供了所有这三种技术. 精密 DC 电流电压(I-V)测量是全面特性分析方案的基础. AC 阻抗,包括众所周知的电容电压(C-V)技术,提供的信息超 越了单纯 DC 所能提供的信息. 脉冲式信号和瞬态信号测试增加了时域维度,可以分析动态特点. 4200-SCS 半导体特性分析系统采用模块化、可配置、可升级的架构. 这使得它能够准确满足当前的测量需求,并可以扩展模块,满足未来 的需求.在9个模块插槽中可以混配四种核心测量模块. 它可以支持多达

9 个精密直流源测量单元,能够提供和测量 0.1fA 到1A 的电流或 1mV 到210V 的电压或电流. 可以使用 4210-CVU 型多频率 C-V 模块,在1KHz-10MHz 测试 频率下方便地进行交流阻抗测试.可以测量的电容范围从 aF 级到 mF 级. 可以使用 4225-PMU 型超快速 I-V 模块执行脉冲和瞬态信号测 量.这个模块有两个独立的电压源,可以以 1V/ns 斜率输出电压, 同时测量电压和电流.在安装多个模块时,它们可以内部同步至