PDF《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品清单（2013...》

五、电子信息及生物医疗装备

(一)集成电路关键设备、新型平板显示器件生产设备、电子元器件生产设备、表面贴装及无铅工 艺的整机联装设备

1、太阳能电池设备 十

四、新型、大马力农业装备

(十)大型 自走式联合 收割机 (十二)甘 蔗收获机 液压系统总成 (十一)大 马力拖拉机 配套耕整地 机械 液压系统总成

4 设备名称 一级部件 二级部件 单机用量 税则号列 (供参考) 修订说明 电磁阀、气动阀、手阀、减压阀 75个8481 新增 源温控制器 5个90321000 新增 外点火装置 5个84869090 新增 炉丝 260KG

72230000 新增 温度控制器 25个90321000 新增 碳化硅管保护器 1个84869090 新增 真空泵组 干式真空泵、 高真空泵组 22套84869090 新增 传输阀 22个84813000 新增 蝶阀 25个84813000 新增 射频电源 2台85437099 新增 射频匹配器 2台85437099 真空泵 3台84141000 真空阀门 2个84818040 质量流量计 6个84818039

90268000 内衬 1个84869099 托盘 10个84869099 硅片传输机械手 1台84864031 波纹管 8根84869099 硅片装载装置(暂存 盒) 1套84289090 新增 硅片传输机械手 1套84289090 新增 惰性气体供气装置 1套84862049 新增 热偶 1套(5-7个)

90259000 新增 硅片传送平台 1套84864039 新增 主轴电机及接口模块 2套85013200 新增 伺服电机及控制 接口模块 3套85013200 新增 160KW电源模块 1套85044019 新增 主动接口模块(AIM) 1个84869090 新增 编码器 2个85437099 新增 距离传感器 2个84159010 新增 变频器 3个85044099 新增 硅片传输系统 1-2个84864031 新增 硅片传输机械手 1-2个84864031 新增 射频电源 6-8个85437099 新增 射频匹配器 6-8个85437099 新增 真空泵(分子泵) 3-4个84141000 新增 真空泵(干泵) 4-6个84141000 新增 真空阀门 10-12个84818040 新增 真空压力计 18-24个90262090 新增 终点检测系统 3-4个90314100 新增 质量流量计 50-66个84818039 新增 静电卡盘 3-4个84869090 新增 反应腔 3-4个84869090 新增

3、集成电路关键设备 (1)氧化 炉(2)单晶 硅棒多线切 割机 (3)高密 度等离子刻 蚀机 (7)扩散 炉(2)等离 子刻蚀机 (8)CIGS 薄膜太阳能 电池硒化/ 热处理设备

2、半导体发光二极管(LED)生产设备

5 设备名称 一级部件 二级部件 单机用量 税则号列 (供参考) 修订说明 射频电源 4-10台85044099 新增 直流电源 2-4台85044014 新增 真空泵(分子泵、冷 凝泵、干泵) 7-8个84141000 新增 真空阀门 5-10个84818040 新增 真空压力计 15-25个90262090 新增 静电卡盘 2-4个84869090 新增 硅片传输系统 1套84864031 新增 硅片传输机械手及装 入平台 1套84864039 新增 全氟烷氧基烷烃聚合 物阀门、管件 1套84818040

39173900 新增 静电消除器 1套85437099 新增 二氧化碳渗入器 1台39269010 新增 离心式磁力泵 4台84137099 新增 风机过滤系统 1套84213990 新增 风囊泵 15个84135090 新增 静电消除器 2个84213921 新增 光纤传感器 6个90318010 新增 伺服电机 2个85015200 新增 直驱电机 2个85013200 新增 平行光源 1个85393290 新增 光栅尺 1套90314900 新增 光栅尺读数头 5个90314900 新增 控制卡 1个90328900 新增 直线电机动子 5个85030090 新增 直线电机定子 4个85030090 新增 驱动器 12个84717090 新增 转换器 5个85308000 新增 直线导轨 8对84799090 新增 角接触球轴承 40个84821030 新增 伺服电机 8个8501 新增 变频器 8个85044099 新增 传感器 2个90319000 新增 控制模块 10个85389000 新增 间隙测量放大器 2套90319000 新增 喷头 1套84249090 新增 高能输送螺杆泵 1套84136040 新增 直线导轨 6对84799090 新增 变频器 1个85044099 新增 刀片 30片8208900........