PDF《气回回收 收装装置》

编辑： f19970615123fa 2013-07-13

3 容积所需时间(h/m

3 ) ≤0.2 抽真空从 0.1MPa 至133Pa 需时间 (h/m

3 ) ≤0.2 真空度保持从 133Pa 经24 小时上升值(Pa) ≤400 年泄漏率≤0.5% 回收后 SF6 水分(PPM/V)、酸值、四氟化碳、 空气、纯度、粉尘、气体纯度 水分含量≤10ppm , 酸值:≤0.2ppm/wt,四氟化碳: ≤0.04%, 空气:≤0.04%,纯度:≥99.9%,粉尘:

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