编辑: NaluLee 2013-09-04

86 蒸镀前清洗(机)/平板显示器玻璃基板初始清 洗机/平板显示器玻璃基板等离子清洗装置 Pre Cleaner before Evaportion/Initial Cleaner/AP Plasma

87 面板清洗机/平板显示器取向膜印刷前清洗机/ 平板显示器取向膜印刷版清洗机/平板显示器玻 璃基板摩擦清洗机/磨边后清洗机 Panel Cleaner/APR Cleaner/Rubbing Cleaner /After beveling cleaner/After Pre Cut Cleaning/Panel Cleaner/Cut Cleaner

88 基板搬运篮清洗机/掩模版承载台清洗机 Cassette Cleaner/Mask Cassette Cleaner

89 接触角测试仪 Contact Angle Measuring Instrument

90 掩模版(掩膜板/掩膜版)清洗机/Frame掩模版 清洗机/平板显示器网版掩模版清洗机 Mask cleaner/Mask clean/SCREEN MASK CLEANER

91 封装玻璃清洗机/封装前清洗机 ENCAPSULATION GLASS WASHING UNIT/Pre EN Clean

92 有机膜紫外漂白仪/紫外线曝光机 IUV

93 臭氧发生器 O3 Generator

94 有机掩模版卡夹清洗机 Mask CST Clean 清洗 清洗设备 老练 、模组模组 序号 工序 设备分类 设备名称 英文名称(供参考)

95 玻璃微粒计数器/成盒对位检查机/重力不均测 量机/框胶检查机/盒内光学测量机 Glass particle counter/Inspection/UV2A Mask Inspection/Mis-Alignment Inspection/Gravity Mura Measurement/Tilt Angle Measurement/Seal Inspector/Cell Gap Measurement Machine/Cell Gap Measurement

96 线宽和坐标测量仪/平板显示器玻璃基板光学检 测机/关键尺寸测量机/基板光刻尺寸光学检测 机/玻璃卸除后剥膜机 line&

width and coordinator Measurement System/CD/TP Measurement/Initial STR

97 薄膜厚度测量仪/椭圆偏振仪/平板显示器玻璃 胶厚度光学检查机/椭偏仪/平板显示器有机膜 光谱椭偏仪 Thickness Meter System/Thickness Measurement/Ellipsometer/ Thickness Inspection

98 自动光学检查机(系统/装置)/掩模版自动光 学检查机 AOI

99 结晶检查机 Crystallinity Measurement

100 断路/短路检测机 O/S Tester

101 刻蚀气体光学监测仪 HMS

102 阵列检查仪/平板显示器阵列缺陷自动检查设备 /热成像短路检查机 Array Test/ARRAY TEST SYSTEM/Thermol Inspection

103 EPD终点探测系统/终点检测仪 EPD System

104 电学特性测量设备(仪)/平板显示器电学测量 设备/电流电压测量仪 EPM Tester/C/V Measure/C-V Measure EQP

105 面板信号测试设备 GOA Measurement

106 三维测试机/阵列扫描电镜检查机/平板显示器 三次元精确测量系统/精确3D测量系统 3D Profiler/A-SEM/Precision 3D Scaller System 10.

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