编辑: kr9梯 2013-09-08

3 所示, 图3(a), (b), (c) 和(d) 分别是 Au 注入能量为

40 kV 时, Au 离子刚注入的样品和样品经过800,

900 和1000 ? C 退火后样品的截面 TEM 像. 从图

3 (a) 可以看出, Au 离子刚注入样品中, Au 纳米颗粒尺寸较小 (直径2nm 左右). 当注入的样品经过热退火处理后, Au 纳米颗粒随退火温度的升高而逐渐长大, 当退 火温度在

900 ? C (图3(c)), 一些颗粒的尺寸达到

20 nm 左右. Au 纳米颗粒的生长过程可以用奥斯 瓦尔德成熟机理(Ostwald ripening) [30] 来解释, 随 着退火过程的进行, 小尺寸的纳米颗粒会逐渐融 合, 生成粒径更大的纳米颗粒, Ostwald 过程强调 的是大尺寸纳米颗粒依靠摄取小粒径纳米颗粒的 质量进行生长, 因此大尺寸纳米颗粒逐渐长大的过 程, 伴随着小颗粒逐渐消失. TEM 结果证实 Au 纳米颗粒在热退火下的生 长过程与光吸收结果中 Au纳米颗粒吸收峰的变化 是一致的, 随着热退火温度的升高, Au纳米颗粒的 平均尺寸逐渐增大, 颗粒尺寸的增大带来光吸收谱 图340 kV Au 离子刚注入样品 (a) 和样品在 (b)

800 ?C, (c)

900 ?C 和(d)

1000 ?C 退火后 TEM 像Fig. 3. TEM images of the Au ions at

40 kV as-implanted sample (a) and the implanted samples annealed at

800 ?C (b),

900 ?C (c) and

1000 ?C (d). 167301-3 物理学报Acta Phys. Sin. Vol. 64, No.

16 (2015)

167301 中吸收峰的红移. 然而当退火温度达到

1000 ? C,在SiO2 衬底表面出现了大量 Au 纳米颗粒, 这一现象 是由于在氧气氛围下退火, Au 原子在 O2 分子的........

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