PDF《氧对于在 ！＂#$ 氛围下用近空间升华法制备 的%&' 薄膜的...》

氧对于在 !"#$ 氛围下用近空间升华法制备 的%&' 薄膜的影响! 夏庚培!) ") 冯良桓!) 蔡亚平!) 黎兵!) # 张静全!) 郑家贵!) 卢铁城!) !) (四川大学太阳能材料与器件研究所, 成都 $!%%$&) ") (四川大学物理系, 辐射物理及技术教育部重点实验室, 成都 $!%%$&) ("%%' 年(月)日收到;

"%%) 年!月!* 日收到修改稿) 采用近空间升华法 (+,,

) 在氩-氧气氛中制备了硫化镉 (+.

,) 多晶薄膜/ 利用 012, 03,,

456, 7898:, 光谱和四 探针技术等测试和分析手段系统研究了氧对薄膜的成分、 结构、 光学和电学等性质的影响/ 结果表明, 用近空间升 华法制备的 +., 薄膜具有六方相结构, 膜层致密、 均匀, 平均晶粒大小约为 &% ;

? 太阳电池器件中 的 界面也得到了优化/ 关键词:+., 多晶薄膜,近空间升华法,窗口层,界面 AB,('&%C,('$AD !国家高技术研究发展计划 ('$*) 项目 (批准号: "%%*44A!*%!%) , 国家自然科学基金 (批准号: $%A%$%%&) , 四川省科技厅应用基金 (批准号: "%%$E!*"%'*) 和教育部博士点基金 (批准号: "%%A% 资助的课题 / # 通讯联系人/ =9QTM %8 ./9 扫描电子显微镜进行;

电导率测试, 采用常规四 探针技术, 在薄膜上真空蒸发沉积共面条形铝电极 上进行, 其中暗电导率在避光装置中放置 ,. T 后测 量得到, 光电导率在 *99 AU&QA, 的卤钨灯模拟太阳 光下进行测量;

光谱响应在四川省计量院光电所进 行测试) -+ 结果与讨论 $"#" 成分分析 在#%% 法制备的 #$% 薄膜的 9+?#' %( 1!) [7] ;

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