PDF《化学气相沉积法制备的石墨烯晶畴的氢气刻蚀》

化学气相沉积法制备的石墨烯晶畴的氢气刻蚀 王彬 冯雅辉 王秋实 张伟 张丽娜 马晋文 张浩然 于广辉 王桂强 Hydrogen etching of chemical vapor deposition-grown graphene domains Wang Bin Feng Ya-Hui Wang Qiu-Shi Zhang Wei Zhang Li-Na Ma Jin-Wen Zhang Hao-Ran Yu Guang-Hui Wang Gui-Qiang 引用信息 Citation: Acta Physica Sinica, 65,

098101 (2016) DOI: 10.

7498/aps.65.098101 在线阅读View online: http://dx.doi.org/10.7498/aps.65.098101 当期内容View table of contents: http://wulixb.iphy.ac.cn/CN/Y2016/V65/I9 您可能感兴趣的其他文章 Articles you may be interested in 基于石墨烯互补超表面的可调谐太赫兹吸波体 Tunable terahertz absorber based on complementary graphene meta-surface 物理学报.2016, 65(1):

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038103 http://dx.doi.org/10.7498/aps.64.038103 物理学报Acta Phys. Sin. Vol. 65, No.

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098101 化学气相沉积法制备的石墨烯晶畴的氢气刻蚀? 王彬1) 冯雅辉1) 王秋实1) 张伟1) 张丽娜1) 马晋文1) 张浩然1)2) 于广辉1)2) 王桂强1)? 1)(渤海大学新能源学院, 辽宁省光电功能材料检测与技术重点实验室, 锦州 121013) 2)(上海微系统与信息技术研究所, 功能材料国家重点实验室, 上海 200050) (

2015 年11 月24 日收到;

2016 年1月30 日收到修改稿 ) 利用化学气相沉积法在抛光铜衬底上制备出六角形石墨烯晶畴, 并且在高温条件下对石墨烯晶畴进行氢 气刻蚀, 利用光学显微镜和扫描电子显微镜对石墨烯晶畴进行观测, 发现高温条件下石墨烯晶畴表面能够被 氢气刻蚀出网络状和线状结构的刻蚀条纹. 通过电子背散射衍射测试证明了刻蚀条纹的形态、 密度与铜衬底 的晶向有密切关系. 通过对比实验证明了石墨烯表面上的刻蚀条纹是由于石墨烯和铜衬底的热膨胀系数不 同, 在降温过程中, 石墨烯表面形成了褶皱, 褶皱在高温氢气气氛下发生氢化反应形成的. 对转移到二氧化硅 衬底的石墨烯晶畴进行原子力显微镜测试, 测试结果表明刻蚀条纹的形貌、 密度与石墨烯表面褶皱的形貌、 密 度十分相似. 进一步证明了刻蚀条纹是由于褶皱结构被氢气刻蚀引起的. 实验结果表明, 即使在六角形石墨 烯晶畴表面也存在褶皱和点缺陷. 本文提供了一种便捷的方法来观察铜衬底上石墨烯褶皱的分布与形态;

同时, 为进一步提高化学气相沉积法制备石墨烯的质量提供了更多参考. 关键词: 石墨烯, 化学气相沉积, 褶皱, 刻蚀 PACS: 81.05.ue, 81.15.gh DOI: 10.7498/aps.65.098101