PDF《Phable 紫外光刻机在图形化蓝宝石衬底（PSS）中的应用》

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30 号科大天工大厦 B 座1408 室Room 1408, Tower B, Techart Plaza, No.30 XueYuan Road, Haidian District, 100083, Beijing, P. R. China 纳米级图形化衬底NPSS的尺寸为:六边形图案,周期1微米,直径0.7微米、高度为0.55微米. 实现了NPSS,会带来几大优势:在下一步的GaN层生长过程中由于材料失配导致的位错和缺陷更 少;

内部的量子效应更大;

光萃取效应进一步提高;

外延生长过程更容易.从而,LED发光效率更 高,并且生产效率大大提高. 3)PHABLE 紫外光刻机――低成本制作高分辨纳米周期性图形结构 Eulitha公司的PHABLE紫外光刻机是在广泛用于LED生产中的蓝宝石衬底上曝光图形的理解 工具.图形化蓝宝石衬底有利于高质量的半导体材料层的生长,从而得到高性能的LED器件.需要 的结构是典型的柱或孔的阵列,一般呈六边形排布,周期为1-3μm(PSS),当制作纳米级图形 化蓝宝石衬底(NPSS――Nano-Patterned Sapphire Substrates)时,周期一般是几百纳米,更 精细的结构带来更大的出光效率.大多数蓝宝石样片表面都不平整,使用传统光刻方法,以可接受 的成本, 很难获得很好的曝光图形, 而PHABLE紫外光刻机在蓝宝石衬底上能曝光出这些高分辨的 结构, 且具有很好的均匀性和重复性. PHABLE紫外光刻机可在四英寸硅片上一次曝光出均匀图形, 生产效率非常高.同时,我们可以对涂得很厚的光刻胶进行曝光,以利于下一步轻松地进行蓝宝石 衬底的刻蚀. 用PhableR

100 高分辨紫外光刻机在 2" 蓝宝石衬底 上曝光出的高分辨图形 在光刻胶上曝光出的周期结构