编辑: lqwzrs | 2013-09-10 |
打开样品预处理室,放入样品和针尖后抽真空至
2 *10-8 乇. 2. 打开隔离阀将样品与针尖依次送入观察室,用机械 手更换样品和针尖,完毕关闭隔离阀抽真空至 5* 10-9 乇. 3. 烘烤真空系统使真空度到达8*10-10 乇. 4. 锁定样品台,给减振台充气,调节系统平衡. 5. 检查各部分之间的连接线是否正常. 6. 打开计算机和控制电源,如果要做功函数采集,还 需打开锁定放大器电源.设置接近控制参数,确认 主控箱前面板的左下角的开关拨向左边. 7. 针尖接近:宏观接近将针尖移至样品近表面 (1mm 左右),微观接近直到产生隧道电流 (