PDF《角处时,Q=8。 R—房间常数；R=Sα/（1-α）,》

3、管理台帐制度的实施与保障 (1)危险废物管理台帐制度的实施涉及单位内部危险废物的贮存、 和用处置、 实验分析和安全环保等相关部门. (2)充分结合自身的实际情况,与利用记录相衔接,建立内部危险废物管理 机制和流程,明确各部门职责,真实记录危险废物的贮存、利用、处置等信息, 保证建立危险废物管理台帐制度的良好运行,特别是要确保所有原始单据或凭证 应当交由专人(如台帐管理员)汇总. (3)危险废物管理台帐应当分类装订成册,由专人管理,防止遗失,并采用 信息软件辅助管理一般固体废物台账. 综上所述,本项目固废都得到了妥善处理,对周围环境造成的影响很小. 江西圆融光电科技有限公司新建年产

450 万片外延片和芯片生产线(二期)项目环境影响报告书

132 6 环境保护对策措施 6.1 大气污染治理措施分析 6.1.1 各项大气污染治理措施分析 (1)外延废气 蓝绿光外延片外延生长过程中产生外延废气 G1,主要为大部分未反应的氨 气及反应生成的甲烷气体. 蓝绿光外延片外延废气 G1 中氨气等先经 Scrubber 尾气水洗处理收集器收集 后经管道进入水填料吸收塔进一步处理, 处理产生的废水排至厂区污水处理站处 理.经处理后的尾气经引风机引至 15m 高的排气筒排放. 水填料结构及原理: 结构组成:塔体为圆筒形,由塑料制成,填料为规整填料,是传热和传质的 场所,塔内件大致包括填料支承与压紧装置、液体与气体分布器、液体再分布器 以及气体除沫装置等. 操作原理:以水为吸收剂,并添加适量盐酸(0.6t/d),液体经塔顶喷淋装 置均匀分布于填料塔上,依靠重力作用沿填料表面自上而下流动,并与在压强差 推动穿过填料空隙的气体相互接触,发生传热和传质. 将外延废气收集后通入填料吸收塔,经由填料塔的下端进填料塔中,与从填 料塔顶流下的水逆流接触,在填料的作用下进行吸收.经吸收后的尾气由塔顶排 出,吸收了氨气的水由填料塔的下端流出. 类比企业一期工程废气处理设施,本项目外延废气处理效率可达 99.6%.经 处理后的外延废气中氨气排放浓度为 0.185mg/m3 、排放速率为 0.011 kg/h,符合 《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2中二级标准限值(4.9 kg/h),因 此本项目外延废气处理措施可行. (2)酸性废气 全厂酸洗、刻蚀过程产生酸性废气,这部分废气主要为硫酸、盐酸雾、氮氧 化物、氟化氢,酸性废气经密闭集气系统收集后,拟送至酸雾洗涤塔净化,因废 气收集管道密闭, 因此废气捕集率为 100%,净化后尾气由对应 15m 高的排气筒 排放,类比企业一期工程废气处理设施,酸雾洗涤塔处理效率可达 90%;

酸雾洗涤净化塔工作原理: 江西圆融光电科技有限公司新建年产

450 万片外延片和芯片生产线(二期)项目环境影响报告书

133 将生产过程中所产生的酸性废气收集后导入洗涤塔, 同时通入氢氧化钾试剂 (用量为 3kg/d),用弱碱性循环水作吸收液,对废气进行逆流洗涤.洗涤塔内 设气流分配板、球状拉西环、螺旋不阻塞喷嘴,120°喷洒洗涤液.使废气由洗涤 塔的下部于上部洒下的小水滴相接触混合, 为确保塔内的气流均匀分布及气液完 全接触,因此采用良好的填充滤材具有较高的比表面积,使气体液体的停留时间 增长, 同时填充滤材应有适当的空隙以减少气流上升的阻力, 减少洗涤塔的压损, 气液的混合率达 90%~96%. 酸雾洗涤净化塔主要设计技术参数: 处理风量:35000 m3 /h;