PDF《华灿光电（苏州）有限公司 LED 外延片芯片二期项目可行性...》

1 工程费用 27452.1 96.1 1.1 建筑工程费 690.4 2.4 1.2 设备购置费 25454.5 89.1 1.3 安装工程费 1307.2 4.6

2 工程建设其他费 285.2 1.0

3 预备费用 832.1 2.9

2、设备明细 综合考虑当前行业设备状况及产业发展趋势,为满足项目生产要求,本项目 拟购置各类设备

458 台/套,设备总价 25454.5 万元,其中:进口设备

318 台/ 套, 总价 2965.7 万美元(进口设备到岸价 2485.0 万美元, 进口设备从属费 480.7 万美元);

国产设备

140 台/套,设备总价为 7028.0 万元.进口设备明细表及国 产设备明细表详见下表: 进口设备明细表 序号 设备名称 数量(台/套)

1 MOCVD-AP

6 2 可再生 PH3纯化器

1 3 AsH3&

PH3气柜

4 4 H2纯化器(吸附式)

1 5 光学显微镜

1 6 XRD X'

pert

1 7 PL 谱测试仪

1 8 ECV

1 9 检漏仪

1 10 高精度氧分仪

1 11 露点仪

2 12 尾气处理器

1 13 BAKE 炉114 毒气侦测系统

1 15 酸碱清洗台

2 16 有机清洗台

3 17 甩干机

3 18 烘箱

4 19 ITO/金属蒸发台

6 20 曝光........