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江西圆融光电科技有限公司新建年产

450 万片外延片和芯片生产线(二期)项目环境影响报告书

173 企业是国内最早开展蓝绿光芯片技术的大规模团队之一, 目前所掌握的生产 线良率可达到 95%以上, 高于业内平均水平.

稳定的生产控制技术和精细的细节 管理, 使生产线的稳定性和生产成本控制处于业内平均较高水平.企业采用的蓝 绿(白光)芯片技术先进性具体表现: 1)简单易于控制的电流阻挡层 CBR 技术,可将亮度提高到 10%左右,ESD 可得到一定程度的改善;

2)高质量 PSS 衬底的制备技术,使用自产 PSS 衬底的均匀性高出外购 PSS 衬底 5%,大大节省了生产成本;

3) 克服 Ag 镜面可靠性问题, 比传统 Al 或Au 镜面技术, 亮度提高 5%左右;

4)掌握高压 LED 和交流 LED 的芯片制作技术;

5)独特产品研发评估机制大大缩短研发周期和成本;

6)独特的 ESD 防护技术将芯片生产线对 ESD 的影响降低到最低,可实现 芯片线综合良率 95%以上. 综上所述,建设项目选用的工艺符合清洁生产的原则和要求. 8.1.4 设备先进性 本项目设备先进性主要体现在以下几点: (1)在进行设备选型时,遵循安全性、可靠性、先进性、维修性、节能性、 成套性、环保性、灵活性、经济性等原则.项目依据产品特性、工艺过程、生产 规模及生产的安全性,确定各种反应设备、容器、换热器、机泵及成套设备的类 型、容积、材质等.项目可行性报告中未使用国家和省《机电设备限制和淘汰目 录》中规定的限制和淘汰的机电设备,供配电系统基本达到节能设计规范要求. (2)本项目生产装置的自控控制系统由厂商成套提供 PLC 控制柜,实现实 时数据采集和自动控制.仪表设备选用国内品牌或进口产品,以选用技术先进, 性能可靠, 性价比好的产品为原则.各控制点参数信号通过通讯电缆输送至中控 室DCS 上进行监控.上述自动化系统不仅为产品质量提供了有力的保障,而且 提高了资源利用效率,减少了生产过程中污染物的产生和排放. (3)本项目拟采购德国 Aixtron 或美国 Veeco 公司的 MOCVD 外延炉.这 两家公司的外延炉是业界公认的原材料耗用最低、经济性最高的设备,性能处于 国际先进水平,适于进行批量化生产,保证了本项目 LED 产品的一致性和高品 质的工艺优势.本项目采用 MOCVD-k465i 是Veeco 正在申请专利的 Uniform 江西圆融光电科技有限公司新建年产

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174 FlowFlange 技术.它的设计是用来产生能均匀地流过 LED 晶圆的烷基和氢化物 气体的均匀气流型态,该设备打造出来的 LED 晶粒可获得卓越的均匀性和可重复 性,K465i 也采用了 Veeco 最先进的反应炉技术.FlowFlange 的简化设计提供了 快速制程优化的轻松除错功能,适用晶圆大小达

8 英寸,同时该设备维护后的快速 复产能力也保证了 LED 产业界最高的生产效率. 8.1.5 与同类项目的类比分析 本项目所属行业暂无清洁生产标准,本次评价经过调研与分析,拟选用业主 负责的的规模及工艺与本项目相类似, 且清洁生产水平达到国内行业先进水平的 同类企业进行对比,定性分析本项目的清洁生产水平,详见表 8.1-1. 表8.1-1 与同类企业的对比情况一览表 指标 本项目 同类项目 资源能源利用 自来水(m3 /颗芯片) 0.113 0.15 去离子水(m3 /颗芯片) 0.033 0.072 产污指标 丙酮(kg/颗芯片) 0.00056 0.00115 硫酸(kg/颗芯片) 2.19*10-5 2.3*10-5 废水量(m3 /颗芯片) 0.0716 0.08 由表 8.1-1 可知,从物耗、能耗、污染物产生指标等三个方面来看,本项目 清洁生产水平高于同类型企业, 因此,建设项目生产工艺水平能够达到国内同类 行业先进水平. 8.2 循环经济分析 循环经济是对物质闭环流动型经济的简称,是以物质、能量梯次和闭路循环 使用为特征的经济形态, 它要求遵循生态学规律, 合理利用自然资源和环境容量. 循环经济把清洁生产、资源综合利用、生态设计和可持续消费等融为一体,实现 废物减量化、 资源化和无害化.使经济系统和谐纳入到自然生态系统的物质循环 过程中. 发展循环经济的根本目标是要在经济增长过程中系统地避免或减少废物 产生, 实现污染物低排放或零排放,从而从根本上解决长期以来环境与发展之间 的冲突,促进经济和社会的全面、协调和可持续发展. 为降低生产成本,实现污染物减量化、资源化、再循环利用的目的,按照循 环经济思想的指导,建设项目采取以下方案: (1)蓝绿光生产线剥离工序产生的贵重金属铬、铂和金,采用胶带粘附收 集,处理后全部回用于镀膜工序,即降低了生产成本,同时又减少了重金属污染 江西圆融光电科技有限公司新建年产