PDF《一封来信促成一段“佳缘”》

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2013 年5月28 日 星期二 Tel押(010)

51949499 齐伟刚: 为 天宫一号 做设备 姻本报记者 童岱 作为继白炽灯、荧光灯之后照明光源的又 一次革命, LED 节能潜力大,产业带动性强, 是 最有发展前景的高效照明技术. 随着我国产业结构调整、发展方式转变进 程的加快,半导体照明节能产业作为节能减排 的重要措施迎来新的发展机遇. 一直以来, 珠三角地区集中了 LED 半导体 照明产业下游的封装应用产业.广东省希望改 变其一直处在中下游低端产业的布局形态, 着 眼于向外延高端延伸. 毫无疑问, MOCVD(金属有机化合物化 学气相沉淀) 重大装备就是这样一个至高点. 中国科学院半导体研究所 (以下简称半导体所) 研究员李晋闽对 《中国科学报》 记者说.

2011 年初,广东省中科宏微半导体设备有 限公司 (以下简称中科宏微) 成立, 中国科学院 半导体所 MOCVD 研究技术成果在广东省的 产业化之路越走越明朗. 中试在即 目前, 我们已生产了

5 台中试样机.其中 已有两台样机的调试工作接近尾声,即将送付 客户方进行生产验证;

另外

3 台预计下半年到 客户方作进一步生产验证. 半导体所研发团队 的科研人员介绍道. 据了解, LED 产业链一般分为外延、芯片、 封装、 应用等部分.MOCVD 即是 LED 外延的 最关键设备, 其购置成本约占整个 LED 生产线 成本的三分之二.

2012 年1月,由半导体研究所负责研制开 发的

48 片MOCVD 重大装备首台样机取得重 大进展.样机在中科宏微完成了总体组装调试 和工艺验证. 中科宏微研制出的样机不仅经过了真空、 压力、 温度、 旋转、 自动传输等一系列设备性能 指标实验考核,同时进行了氮化镓以及氮化物 LED 的外延工艺考核, 所外延的氮化物材料, 分 别由山东华光、 杭州士兰明芯、 武汉迪源、 上海 蓝宝、扬州中科等国内主流芯片公司进行了性 能测试和氮化物 LED 芯片制作. 经多家第三方检测的结果表明,用此

48 片MOCVD 样机外延的氮化镓材料,其各项 性能指标达到同类国际 MOCVD 装备产品的 水平. 研发团队成员表示,

48 片样机是国内首台 装机调试成功,并经过外延工艺验证的大型氮 化物 MOCVD 装备.样机的自动化程度、 工艺 控制性能及氮化物外延材料的产能和国际同类 型MOCVD 装备产品相当. 该样机吸取了国际上各类不同机型的优 点, 完全自主设计, 具有自主知识产权, 已申请 了多项发明专利. 样机的主体部分、 关键部件、 易消耗部件等, 主要依靠国内加工和采购, 国产 化率达到 80%以上. 该研发团队成员表示. 不过, 中科宏微并不着急将产品上市, 他们 清醒地认识到,工程化样机和工程化产品之间 始终需要经过工艺验证, 该设备的长期稳定性、 可靠性尚需要通过客户长期使用来进行验证, 并积累经验. 研发团队科研人员还表示, 如果一切顺利, 明年, 中科宏微 MOCVD 设备将进入大规模生 产阶段. 突破技术难点 据了解, 从上世纪七八十年代起, 半导体所 以及国内相关科研机构陆续开始研究 MOCVD 重大装备. 作为国立科研机构, 半导体所更是高 度关注自主装备的研发. 但是自从 MOCVD 重大装备对中国限制 出口的禁令解除后,我国整体自主研发步骤放 缓. 与此同时, 国内半导体照明产业却不断迎来 发展机遇, 这促使国内一些厂商对 MOCVD 设 备的需求不断增加. 然而, 全球 90%以上的 MOCVD 市场却被 美德等国企业垄断. 目前, 我国生产型 MOCVD 设备完全依赖进口. 据介绍, 一台进口 MOCVD 设备的售价目前高达