PDF《MEMS CO 气体传感器》

R0 表示传感器在洁净空气中的电阻值. 图中所有 测试均在标准试验条件下完成. 图4传感器典型的温度、湿度特性曲线 图中 Rs 表示在含 150ppmCO、各种温/湿度下的电 阻值;

Rs0 表示在含 150ppmCO、20℃、55%RH 下的电阻值. 图6传感器线性特性曲线 图5响应恢复曲线 图中电压是传感器串联的负载电阻(RL)上的电 压.图中测试在标准试验条件下完成,测试气体 150ppmCO . 图中输出电压是传感器串联的负载电阻(RL)上 的电压.图中所有测试均在标准试验条件下完成. MEMS 传感器系列 以诚为本、信守承诺 创造完美、服务社会 长期稳定性 图7长期稳定特性曲线 注:图中所有测试均在标准试验条件下完成,横坐标为老化时间,纵坐标为输出电压值. 使用说明: 1.预热时间 传感器在不通电情况下长时间贮存,其电阻会产生可逆性漂移,使用前需对传感器进行预热以达到内 部的化学平衡,预热电压与其加热电压VH保持一致.贮存时间及对应的预热时间建议如下: 表2贮存时间 建议预热时间

1 个月以下 不低于

24 小时 1-6 个月 不低于

48 小时

6 个月以上 不低于

72 小时 2.传感器标定 传感器精度受传感器之间的基准电阻差异、灵敏度差异、温度、湿度、干扰气体、老化时间等因素的 影响,其输入-输出之间存在非线性、滞后和不重复性的工作特性.因此对于绝对浓度测量须对其进行定期 标定(可在全量程内进行单点/多点标定),以保证量值的准确传递,相对测量则不需要标定. 注意事项:

1 、必须避免的情况 1.1 暴露于可挥发性硅化合物蒸气中 传感器要避免暴露于硅粘接剂、发胶、硅橡胶、腻子或其它存在可挥发性硅化合物的场所.如果传感 器的表面吸附了硅化合物蒸气,传感器的敏感材料会被硅化合物分解形成的二氧化硅包裹,抑制传感器的 敏感性,并且不可恢复. MEMS 传感器系列 以诚为本、信守承诺 创造完美、服务社会 1.2 高腐蚀性的环境 传感器暴露在高浓度的腐蚀性气体(如H2S,SOX,Cl2,HCl 等)中,不仅会引起加热材料及传感器 引线的腐蚀或破坏,并会引起敏感材料性能发生不可逆的劣变. 1.3 碱、碱金属盐、卤素的污染 传感器被碱金属尤其是盐水喷雾污染后,或暴露在卤素如氟利昂中,也会引起性能劣变. 1.4 接触到水 溅上水或浸到水中会造成传感器敏感特性下降. 1.5 结冰 水在传感器敏感材料表面结冰会导致敏感层碎裂而丧失敏感特性. 1.6 施加电压 由过载电压引起的过载加热功率会对传感器造成不可逆的损害,同时静电也会损坏传感器,所以在接 触传感器时要采取防静电措施.

2 、尽可能避免的情况 2.1 凝结水 在室内使用条件下,轻微凝结水对传感器性能会产生轻微影响.如果水凝结在敏感层表面并保持一段 时间,传感器特性则会下降. 2.2 处于高浓度气体中 无论传感器是否通电,在高浓度气体中长期放置,均会影响传感器特性.如用打火机气直接喷向传感 器,会对传感器造成极大损害. 2.3 长期暴露在极端环境中 无论传感器是否通电,长时间暴露在极端条件下,如高湿、高温或高污染等极端条件,传感器性能将 受到严重影响. 2.4 振动 频繁、过度振动会导致传感器内部产生共振而断裂.在运输途中及组装线上使用气动螺丝刀/超声波焊 接机会产生此类振动. 2.5 冲击 如果传感器受到强烈冲击或碰撞会导致其内部断裂. 2.6 焊接 2.6.1 回流焊接建议条件 中性气氛;