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020219 第页共页13R拉弧和短路保护功能 标准网口、 数字接口 RS-232 恒压、恒流自动交叉控制 输出电压从 1kV~150kV 6kW 6U (10.5 ) 机箱为单个 机箱 " 可根据用户要求订制 DE 6kW 1kV~150kV

19 DE R S-232 DE DE IGBT DE 威思曼 的 系列 高电压电 源可以输出正 极性或负极性,输出范围从共有种规格. 高压电源功能齐全的前面板非常方便本地控制,后面板模拟接口可以 实现远程控制.标准以太网和 数字 接口,使 高压电源可以方便地设计在您的整机系统里. 使用 逆变器,适用于各种苛刻的应用,如半导体制造业,真空沉积. 高压电源的许多操作功能可以 由用户配置,以适应客户特定的要求. kV mA P(kW) * P , N , 1~10kV 150kV 6kW " " " " 代表正压 代表负压 定制时极性必须详细说明. 电源采用内部可逆设计,需要更改内部接线才能 切换极性.可通过特定订单提供中间电压的电源. 电源最大输出限制为 . DE

120 6 * X 加速器,电容充电,电子束,离子束,离子注入,半导体制造,光刻技术,电子元器件老化,高压绝缘测试, 静 电应用,激光,大功率射频发射器, 射线系统,科学实验,工业应用. 典型应用 简介 DE选型表 型号 DE选型示例 系列 名称 最大输 出电压 (kV) 输出极性 P N :正极性 :负极性 : R 逆转 最大输 出功率 (kW) DE3*6 DE2*6 DE1*6

200 150

6 40

50 60 DE6*6 DE4*6

100 70 85.7

80 75

100 120

6 6

6 6

6 6

60 120

6 6

40 150

6 1

2 3

6 8

10 12

15 20

1000 750

600 500

2000 3000

6000 400

300 4

1500 DE10*6 DE12*6 DE15*6 DE20*6 DE8*6

30 50 DE50*6 DE40*6 DE30*6

6 DE70*6 DE60*6

6 6

6 6

6 6

6 6 DE100*6 DE120*6 DE150*6 DE80*6 kV mA P(kW) 型号 APT 自动过功率跳闸 可选 1PH220 180~264Vac, 单相位输入 3PH220 180~264Vac, 相位输入 三AX 可选拉弧关机弧数 AQX 拉弧灭弧时间 ARX 拉弧重升时间 BFP 空白前面板 CP 功率模式选择 LX 非屏蔽线可选长度 HST 高稳定性 SSX 可选慢启时间 AOL 自动过流关机 第页共页23RF12 www.wismanhv.com [email protected] 2019.2 Wisman High Voltage Power Supply Corp. All Rights Reserved C

020219 特性说明 输入电压 输出电压 稳定性 开机 小时后 每小时 .

1 0.02% , 输出范围从 共有 种规格 每种规格可以输出正极性或负极性. 电源是内部可逆的. 1kV~150kV

19 , 1kV~10kV 纹波 0.1% p-p +1Vrms. 电压电流显示 电源电压内部控制 内部电位器将电压设置为 到最大输出电压之间.

0 0~+10Vdc

0 对应 到最大输出. 电源电压外部遥控 电源电流内部控制 外部 控制信号可将电压 电压 0~+10Vdc 设置在 到最大输出 之间.

0 电源电流外部遥控 电压相对负载调整率 0.05%+500mV ( ) 空载到额定负载 . 外部 控制信号可将电流设置在 到最大输出电流之间. 10Vdc

0 0~+ 电压相对输入调整率 电流相对负载调整率 0.05% 100uA ( ) ± 空载到额定负载 . 0.05%+500mV ( 10% ) 输入电压变化± . 电流相对输入调整率 0.05% ( 10% ) 输入电压变化± . 高压输出连接

10 (3.05m) 英寸 屏蔽高压电缆 可从后面板卸下. , 输入输出连接 DB50,包含控制和显示信号. 工作温度 储存温度

0 ~+40 ℃ ℃. -40 ~+85 ℃ ℃. 尺寸 重量 1kV~120kV: 10.5 (6U)H X

19 W X

21 D (266mm x 482.6mm x 533mm) 150kV: 10.5 (6U)H X

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