PDF《Technology Metals | Advanced》

高性能DynaMo? 溅射靶材系列 Technology Metals | Advanced Ceramics |2| H.

C. Starck 提供业内密度最高的平轧平面溅射靶材. DynaMo? 可被用于移动平面显示和车载显示领域的阻隔层 和覆盖层 DynaMo? 在蚀刻和抗腐蚀方面性能卓越. > > 蚀刻通用特性 ? DynaMo? 相较于市场上其他钼合金,在PAN中蚀刻 速率最接近铝 ? DynaMo? 在铜蚀刻液中易被蚀刻,轮廓整齐,锥角 可控 > > 抗腐蚀性能 ? DynaMo? 与钼铌或钼钽合金相比其抗腐蚀性有 40-80%的提高 > > 黑色材料 ? DynaMo-Ox? 拥有低于15%的反射率 ? DynaMo-Ox? 的蚀刻性能与铝相兼容 DynaMo? 溅射靶材料性能 为什么要使世泰科的 DynaMo?? DynaMo? 机械性能 密度(克/立方厘米)

10 拉伸 降伏强度

380 (55) 极限拉伸强度

560 (81) 断裂时百分比

2 硬度

200 热膨胀系数 TBD 电导率 热导 210-250 电导 6.4 典型微观结构 纵向 横向 |3| DynaMo?-TSR DynaMo?-TSI DynaMo?-TSA MoNb MoTa Al

230 180

130 80

30 -20 Mo 在任何既定温度下 DynaMo-TSA?在PAN中的 蚀刻速率均最接近铝. DynaMo-TSI? 和DynaMo-TSR?是为触控及 车载显示而量身定制的. 比钼铌和钼钽的抗腐蚀性 能有 40-80% 的改善. 在85摄氏度 85%湿度环境下与钼合金对比的腐蚀速率 DynaMo? 是"最好的"蚀刻解决方案 DynaMo? 抗腐蚀性能 在PAN蚀刻液中蚀刻速率 玻璃 (100 纳米钼合金) 温度 =

36 摄氏度 温度 =

42 摄氏度 0,00E+00 1,00E-07 2,00E-07 3,00E-07 4,00E-07 5,00E-07 6,00E-07 7,00E-07 8,00E-07 9,00E-07 Mo MoTa MoNb DynaMo?-TSA DynaMo?-TSR DynaMo?-TSI 0,00E+00 1,00E-08 2,00E-08 3,00E-08 4,00E-08 5,00E-08 6,00E-08 7,00E-08 8,00E-08 MoTa MoNb DynaMo?-TSA DynaMo?-TSR DynaMo?-TSI |4| 利用 DynaMo? 系列靶材产生的黑色氧化物在

550 纳米波长的反 射率小于 10-15% H.C. Starck 的解决方案可以根据客户的具体要求和能力为每个客 户定制. 解决方案

1 C 通过改变晶粒尺寸和表面形态降低反射率. 优势: > > 不需换溅射靶材 > > 不需在溅射过程中用反应气体 > > 蚀刻率无大改变 > > 不需后期高温处理 劣势: > > 在550 纳米,根据沉积参数反射率约为 40-60%. 世泰科的解决方案包括一个非常独特的 DynaMo? 成分来改变晶 粒尺寸与推积密度,从而达到反射率 < 25-35%. 黑色 DynaMo? (抗反射涂层) 氩气气压

0 10

20 30

40 50

60 70

80 90

400 450

500 550

600 650

700 高氩气气压有助晶粒生长.

100 纳米

100 纳米

100 纳米 增加氩气气压 |5| 解决方案

2 C 通过反应溅射降低反射率 优势: > > 在550 纳米波长,反射率 < 10-15% > > 无需换靶材 劣势: > > 溅射过程中使用反应气体 世泰科专利待批DynaMo?化合成分及其氧化物系 列与蚀刻液(例如PAN)反应兼容从而蚀刻率不会 受金属或氧化物形态的显著影响. 玻璃 (200纳米DynaMo-Ox?和50 纳米 DynaMo-Nx?) MoNb DynaMo?

0 5

10 15

20 25

30 35

40 45

50 400

450 500

550 600

650 700

750 800 %

0 10

20 30

40 50

60 70 氮气增加 氧气增加 Al |6| 解决方案

3 C 后期在

350 摄氏度空气中退火 优势: > > 在550 纳米波长,反射率 < 0-10% > > 不需更换溅射靶材 > > 溅射过程中不需使用反应气体 > > 仅最表面材料被改变,薄膜蚀刻率不受大影响 劣势: > > 后期高温退火 世泰科的解决方案包括

350 摄氏度的退火过程, 与平板显示-触控面板生产步骤中的固化相似. 玻璃 (30 纳米钼合金,3000 纳米铝和