PDF《Lab》

4 4 三维性 三维性-全部信息. -全部信息. ? ?

5 5 实时性 实时性-光电响应 -光电响应 ps ps(皮秒)~ (皮秒)~fs fs(飞秒) (飞秒) 快速响应 快速响应 ? ? 生产线控制 生产线控制 ? ?实时监测控制 实时监测控制 Lab Lab 现代光学仪器国家重点实验室 现代光学仪器国家重点实验室 浙江大学微系统研究中心 发展前景 发展前景 ? ? 精密测量技术的四大发展方向: 精密测量技术的四大发展方向: ( (1 1) )静态 静态 动态 动态--在线控制( --在线控制(on on- -line line). ). ( (2 2) )逐点 逐点 全场 全场--三维形貌实时测量. --三维形貌实时测量. ( (3 3) )动态 动态 智能 智能--存储、识别、知识库、识--存储、识别、知识库、识知. 知. ( (4 4) )模块 模块 芯片 芯片--技术集成在一个芯片上 --技术集成在一个芯片上 ( (lab on chip lab on chip). ). 现代光学仪器国家重点实验室 现代光学仪器国家重点实验室 Lab Lab 浙江大学微系统研究中心

二、光衍射计量技术

二、光衍射计量技术 2-1 技术原理 1.特色 1)非接触性-柔软体、高温体(光纤芯径, 包层直径等) 2)装置简单-一个激光器,一个刀口,成本 低,易推广 3)高灵敏,高精度-亚微米(0.1μm) 现代光学仪器国家重点实验室 现代光学仪器国家重点实验室 Lab Lab 浙江大学微系统研究中心

4 4) )快速,实时 快速,实时-- --适合生产线实时控制 适合生产线实时控制

5 5) )不足 不足-- --测量范围小, 测量范围小,100 100μ μm m ( (0.1mm 0.1mm) ) 适合比较测量 适合比较测量 2. 2.原理 原理: : 现代光学仪器国家重点实验室 现代光学仪器国家重点实验室 Lab Lab 浙江大学微系统研究中心

五、光微

五、光微/ /纳芯片技术 纳芯片技术 5.1 5.1 市场发展需求 市场发展需求 近代科技与工业的三个发展方向: 近代科技与工业的三个发展方向: RF RF技术-射频技术 技术-射频技术 信息一体化 尺寸微型化 功能智能化 手机 Lab on chip 现代光学仪器国家重点实验室 现代光学仪器国家重点实验室 Lab Lab 浙江大学微系统研究中心 信息化 信息化 各种传感器 (声、力、色、u、…) 探测 变换 传输 计算机 显示 处理 放大 DSP Lab Lab 现代光学仪器国家重点实验室 现代光学仪器国家重点实验室 浙江大学微系统研究中心 微型化 微型化 -微杠杆 -微杠杆 -微电机 -微电机 -微透镜 -微透镜 -微齿轮 -微齿轮 -微驱动 -微驱动 -微光栅 -微光栅 -微泵 -微泵 -微电源 -微电源 -微镜 -微镜 …… …… …… …… …… …… MEMS MEMS (micro (micro- -Electronics Electronics- -Mechaning Mechaning systems) systems) MOEMS MOEMS (optical MEMS) (optical MEMS) 微机械微电器微光学Lab Lab 现代光学仪器国家重点实验室 现代光学仪器国家重点实验室 浙江大学微系统研究中心 智能化 智能化 -驱动及控制 -驱动及控制 -识别功能 -识别功能 -执行及控制 -执行及控制 -知识与经验库 -知识与经验库 -测量与控制 -测量与控制 -学习功能 -学习功能 做在一个基底平台上(硅基、非硅基) 做在一个基底平台上(硅基、非硅基) 功能芯片化 功能芯片化 5.2 5.2 光微 光微/ /纳芯片原理 纳芯片原理 动作功能知识功能Lab on chip Lab Lab 现代光学仪器国家重点实验室 现代光学仪器国家重点实验室 浙江大学微系统研究中心 Lab Lab Lab 现代光学仪器国家重点实验室 现代光学仪器国家重点实验室 波导微光学芯片 浙江大学微系统研究中心 Lab Lab Lab 现代光学仪器国家重点实验室 现代光学仪器国家重点实验室 纳米测试芯片 -外差干涉系统原理 LD MC1 PM MS MC2 MC3 M M Inertial Mass C1 C2 C3 C4 P APD APD Signal beat: f1-f2 Reference beat: f1-f2 f0 f1 f2 f1 f1 f1 f1 f1 f2 f2 f2 Ti:LiNbO3 浙江大学微系统研究中心 结束语 结束语 1) 1)近代光学测试技术是先进制造技术与精密工程中的 近代光学测试技术是先进制造技术与精密工程中的 核心关键技术-学习入门知识. 核心关键技术-学习入门知识. 2) 2)近代光学测试技术发展很快-关心 近代光学测试技术发展很快-关心MEMS MEMS技术, 技术, lab on chip lab on chip, ,system on chip system on chip. . 3) 3)欢迎各位加强联系. 欢迎各位加强联系.