PDF《公司关于 2019 年度国家科技进步奖提名公示》

1、创新了工业黄磷逐级纯化技术,打破了发达国家长期垄断. 针对工业黄磷杂质难去除的关键技术难题,自主创新了活性炭吸附、 硝酸氧化和连续化减压真空精馏的组合工艺, 并成功应用于工业黄磷 的逐级提纯净化,建成

1 万吨/年高纯黄磷生产装置,产品纯度> 99.9999%,As、Sb 含量均≤10μg/kg.

2、自主开发了动态磷酸酐膜阻隔防腐蚀技术和电子级磷酸组合 反应新工艺和新设备, 填补了电子级磷酸国内空白. 针对黄磷燃烧和 高温五氧化二磷水合过程中设备腐蚀, 以及由此带来的金属离子杂质 污染等技术难题, 自主开发了动态磷酸酐膜阻隔防腐技术多级喷淋冷 却水合吸收组合反应技术,并建成了

3 万吨/年具有自有知识产权的 生产线,产品中 Fe、Cr、Ni 等金属离子含量均≤10μg/kg,实现电子 级磷酸国产化.

3、突破了对 Si3N

4、SiO2 和TiN、W 等表面蚀刻速率调控的技 术瓶颈,开发了电子级磷酸在专用型电子化学品中的应用技术,建成 了5万吨/年规模的生产装置,实现了高选择性蚀刻液和金属蚀刻液 等磷酸系蚀刻液的国产化. 该项目共拥有专利和标准

31 件,其中授权发明专利

11 件、获批 国家标准

1 件,打破了发达国家对高纯黄磷、电子级磷酸和磷酸系蚀 刻液等产品的长期技术封锁. 该项目成果在国内

5 家企业推广应用,建成

7 条生产线.近三年 新增销售收入 22.12 亿元,新增利润 2.84 亿元,创汇

5450 万美元. 电子级磷酸及其专用型产品已分别在三星电子、 中芯国际等国内外著 名芯片制造企业应用, 替代进口率达到 45%, 其中在中芯国际使用比 例达到 60%以上,在华虹宏力达到 90%以上.由于我们产品上市, 电子级磷酸进口价格由

3150 美元/吨下降至

1900 美元/吨,降幅达 39.7%,有力地促进了芯片国产化进程.

五、客观评价 该项目围绕国家电子信息产业和化学工业发展的重大需求, 相继 发明了高纯黄磷逐级纯化技术、 电子级磷酸组合反应技术和电子级磷 酸在专用化学品中的应用技术,开发出高纯黄磷、电子级磷酸及磷酸 系蚀刻液等关键产品,实现规模化生产,打破了国外封锁,将我国高 端磷化学品制备技术提升到国际先进水平. 对该项目的客观评价如下:

(一)项目产品认证、认可

1、该项目生产的电子级磷酸通过了全球权威机构 SGS 的RoHS 检测 (RoHS 是由欧盟立法制定的一项强制性标准) ,为产品进入国 际市场颁发了标准证书.

2、电子级磷酸产品通过新加坡格罗方德、三星电子等国际知名 电子企业认证,湖北兴福电子材料有限公司成其重要供应商.

3、湖北兴福电子材料有限公司通过国内最大半导体制造企业中 芯国际合格供应商认证,并被授予

2017 年电子材料供应商第一名称 号.

4、湖北兴福电子材料有限公司通过集成电路材料和零部件产业 技术创新联盟认证,总评级 A.

(二)参与国家标准的制订 参与电子级磷酸国家标准制定,GB/T 28159-2011,明确了电子 级磷酸的产品规格、试验方法以及标志、包装、运输、贮存等,并规 范了 ICP-MS 测定阳离子杂质含量、离子色谱测定阴离子杂质含量的 检测方法.

(三)项目产品质量评价 高纯黄磷和电子级磷酸经国际知名的 SGS 认证机构检测.其中 高纯黄磷纯度>99.9999%,As、Sb 含量均