PDF《生产设备》

生产设备 适用于生产薄膜太阳能电池 (CIGS/CdTe)

02 德国新格拉斯科技集团 技术创新 德国新格拉斯科技集团在合理利用资源的基础上为 高效生产流程开发创新技术,其核心竞争力在于真 空薄膜技术、湿法化学工艺、表面技术和热加工等 专业技术.

目前已售出超过8000台溅射设备.. 集团旨在巩固现有核心竞争力的同时开发新的解决 方案,并借此拓展新的业务,将其掌握的自动化技 术、工艺技术和工艺步骤整合技术运用到新的应用 领域. 德国新格拉斯科技集团在持续发展其现有业务的同 时开发新的市场,提供新的生产解决方案.作为全 球创新技术的领跑者,集团欲将其专有的技术运用 到可再生能源、娱乐、不断增长的移动业务、半导 体和其它消费品行业中. 德国新格拉斯科技集团 CIS/CIGS和CdTe太阳能电池的开发者、推动 者和供应商 太阳能电池可以根据其生产工艺和所用材料进行 分类,比如晶硅和薄膜太阳能电池. 薄膜太阳能电池的基材为一块大型的玻璃面板, 在板上有一层极薄的1到2 μm的光敏化合物层. 此外,该工艺还需要铜、铟、镓和硒或硫组成的 CIGS、碲化镉(CdTe)或薄硅层. 凭借低光照强度下的优越性能,薄膜太阳能电池能 够在清早和傍晚或多云天气时提供电力,面板对局 部阴影也更具适应性.在强烈的太阳照射下,电池 性能也不会因电池板温度很高而受到过多的影响. 此外,薄膜太阳能电池板表面颜色均匀,具有良好 外观,可以作为设计元素用于建筑的正面或屋顶. CIGS电池的吸收层由铜、铟、镓、硒和部分硫化合 物组成.这些薄膜电池的实验室效率已超过23 %. 组件效率可达14至17 %,具体取决于组件尺寸.作 为高效太阳能电池技术的开发者,德国新格拉斯集 团是众多先进太阳能电池制造商的首选合作伙伴. 德国新格拉斯科技集团是少数既能为工厂提供CIS/ CIGS薄膜组件和单个设备,又能提供适用于下一代 太阳能电池生产的交钥匙生产线的设备生产商. 德国新格拉斯科技集团 为CIS/CIGS电池生产提供一切关键生产步骤 CIS/CIGS Substrate Inspection Si Barrier Layer &

Mo Back Coat → Sputtering Scribing P1 → Laser Precursor → Sputtering Selen Evaporation → Thermal Evaporation Selenization/ Sulphurization → CISARIS Oven iZnO → Evaporation &

Sputtering CdS or. alt. Buffer Deposition → CBD or ILGAR Front Contact → Sputtering Scribing P2 → Mechanical → Laser Scribing P3 → Mechanical → Laser Interconnect &

Encapsulation → Lamination Glass Washing → Wet Cleaning SINGULUS TECHNOLOGIES CdTe Substrate Inspection (Buffer Layer Deposition) Absorber &

Buffer Layer Deposition CdTe → CdTe Coater CdCl2 Deposition → Wet Process Activation → Oven Process CdCl2 Salt Removal → Wet Cleaning Primary Back Contact → Wet Process NP Etch Scribing P1 → Laser Metal Back Contact → Sputtering Scribing P2 → Mechanical → Laser Scribing P3 → Mechanical → Laser Interconnect &

Encapsulation → Lamination Glass Washing → Wet Cleaning SINGULUS TECHNOLOGIES 德国新格拉斯科技集团 为CdTe电池生产提供关键生产步骤

03 在太阳能领域,集团为晶硅和薄膜太阳能电池提供创 新的生产方案,在减少生产成本的同时提高电池的转 换效率. 作为全球知名的设备生产商,集团致力于将太阳能发 展为更具有可持续性、应用更广泛的可再生能源. 在过去几年中,集团为CIS/CIGS生产重要工艺步骤开 发了新的设备并在生产线上验证了技术,工艺覆盖所 有相关生产步骤: → → 溅射 → → 蒸发 → → 用于硒化和硫化的RTP → → 缓冲层沉积 → → 湿法化学清洁 德国新格拉斯科技集团将继续扩大其发展伙伴关系, 提供高效且低成本的薄膜太阳能电池生产设备.如今,我们已成为CIS/CIGS设备的一站式供应商,旗下 的设备覆盖所有相关生产步骤.总的来说,这占据了 建立一家薄膜工厂所需投资金额的70%.集团致力于研 发新的技术以确保其业内领先地位.CIS/CIGS电池的 产量在未来几年将会持续扩大.我们将借机向客户提 供高质量的生产线,在提高电池性能的同时降低生产 成本,进一步提高电池产量. 德国新格拉斯科技集团为客户提供CIS/CIGS技术: → → 符合最高国际标准的生产设备 → → 稳定的工艺,提供工艺技术和工艺执照 → → 最高良率和效率 → → 工程师和操作员的教育和培训 → → 生产初期支持 → → 全球售后服务 → → 未来所需的升级包 集团旗下的CIS/CIGS设备已销往全球各地,包括中 国、德国、印度、韩国、美国、新加坡、南非和台湾 的成功使用案例都证明了该工艺的成熟和完善.

04 VITRUM II 在线湿法设备,用于蚀刻、清洗与单面镀膜 VITRUM II 在线湿法设备,用于蚀刻、 清洗与单面镀膜 VITRUM II Cover是VITRUM 系列产品中的新工艺设 备,专门用于以单一工序来清洁薄膜太阳能电池的 后侧和边缘部位包裹的涂层.在用刷子和化学品清 洁边缘和后侧的同时,活性层得到了工艺罩的保 护.因此VITRUM II 罩最适用于槽式镀膜工艺过程 之后的清洁,以及对后侧和边缘不需要的覆膜进行 蚀刻,如CdTe 或CdS. VITRUM II 的模块化设计便于根据CIS、 a-Si 或CdTe 技术(蚀刻、后侧和衬底边缘蚀刻、清洗以 及单侧覆膜)整合不同工序.

05 主要特点 → → 模块化设计 → → 最多节省30 %的成本 → → 更容易的进入维护 → → 占地面积较小 → → 使用成本低 → → 高产能 → → 高可靠性(架动率>

99 %*) → → 标准衬底和客户定制的衬底最大达2,600 毫米 → → 高产能平行载具 → → 可重复的工艺结果 * 取决于具体应用 VITRUM II为在线湿法工序提供了平台:在一条 CdTe 生产线上,它能执行多道工序,从清洗玻 璃开始,一直到去除后侧覆膜、用滚动滤芯沉积 CdCl

2、去除CdCl2以及磷酸硝酸刻蚀. 在生产薄膜硅太阳能电池或CIS/CIGS电池的过 程中,VITRUM能够清洗玻璃以及进行TCO蚀刻、KCN蚀刻或NH3处理.此外,它还能为长达 2,200 毫米的衬底进行NP、DAE 以及 EDTA 蚀刻. 通过我们新开发的独特温和喷淋工艺,实现了均 匀、可靠而可复制的蚀刻.不仅如此,与在线浸渍 相比,它还具备诸多优势,例如减少工艺体积、节 省能耗和化学品,以及以最小的带药量将工艺速度 提高到5米/分钟. VITRUM II的设计对各种液体回路采用了类似的管 路系统,并安装了足够空间的安装柜来优化维修工 作.由于生产节拍高,并且采用了模块化概念,很容 易集成到现有生产线中.有了新型VITRUM II,就能 充分降低工艺成本. VITRUM II Clean → → 在线清洁设备(2200/1400/600) → → 预冲洗和单侧刷洗(酸/腐蚀剂) → → 在线最终冲洗(瀑布式清洗机),无金属 → → 在线标准冲洗、抛光与刷涂机(玻璃腐蚀) → → 超声波和兆声波辅助(颗粒去除) VITRUM II 蚀刻 → → 在线蚀刻设备(2200/1400/600) → → 在线TCO蚀刻机(HCl/HF) → → 在线 KCN蚀刻机 → → 在线NP蚀刻机 → → 在线CuCl2蚀刻机 → → 在线光刻胶显影剂 → → 在线CuCl2去除 VITRUM II Cover → → 在线蚀刻设备 → → 去除边缘和背面周围包裹的涂层 → → 活性层保护(液体或蒸气都无法侵袭到 → → 活性层) VITRUM II Coat → → 通........