PDF《超高性能化学过滤网》

超高性能化学过滤网 GIGASORB 7A-52-C Patent NO.

2085290 采用独特的滤材构造, 实现高效率去除性的 超高性能化学过滤网. TM GIGASORB 由於串珠状活性碳之三次元纤维构造,可以减低压力 损失.高效率去除气体,得以更进一步实现LSI之超微 细 加工所 需要 的清净化. 随著半导体集体回路之高度化、高集积化,其 制造环境的洁净化更成为主要的条件.以往不 成问题的分子级的污染,现在对制品的良品率 与信赖性都有密切的关系. 在这种市场环境之下,我们NITTA为了更进一 步确立LSI的信赖性,实现高效率的去除性,开 发了超高性能化学过滤网GIGASORB. GIGASORB就是在多孔聚氨基甲酸乙脂发泡体 (Poly urethane Form)上载附直径约0.5mm 的球状活性碳,可将空气中的气体状污染物质 高效率去除的划时代化学过滤网. 由於这种特殊的构造除了可实现高效率的去除 性之外,更大幅降低压力损失,并抑制滤材本 身的发尘量,同时实现轻量化等,优异的特徵 不胜枚举.为了创造高品味的洁净环境,请多 利用GIGASORB. 大幅降低了压力损失 可夸耀的高去除效率 以往的吸著剂,构造上吸著效率与压力损失都互相关连, 要提高吸著效率则压力损失增加之缺点.但是GIGASORB 则以通气性优异的聚氨基甲酸乙酯发泡体上载附直径约 0.5mm的球状活性碳,此种特殊构造得以确保原有之优异 的通气性而大幅降低了压力损失. 载附在GIGASORB之直径约0.5mm的活性碳,尽管空隙很 多但其颗粒与气体状污染物质可以有效的接触.由於聚氨 基甲酸乙酯发泡体的特殊构造,气体无法直线通过因而与 活性碳频频的接触而可得到很高的吸著效果. 低发尘性 气体状污染物质GIGASORB由於滤材表面被成型为坚固之固体构造,因此 可以降低活性碳的发尘量. 当气体状污染物质通过平均空间所构成的滤材,与配置在期间的活 性碳表面确实接触而被吸著. 重量只有过去产品的50% (本公司产品比较值) GIGASORB本体为聚氨基甲酸乙酯发泡体的特殊构造,所 以重量很轻,因此,可以用简单的框架固定制作成化学过 滤网,其重量比相同体积之颗粒状活性碳更轻,所以装设 场所的使用围就更为自由而广泛了. 分子污染的对策例 GIGASORB可提供无尘室内之各种应用. 例如可装设在天花板ULPA过滤网之上流侧 而做系统别之分子污染对策.亦可对应标 准区内之局部分子污染,按装於无尘棚或 FFU上.更可与B-ULPA过滤网系统化,而 有效对有机物污染、氨污染、棚污染等施 以总和的分子污染对策. B-ULPA过滤网 GIGASORB / 有机气体用 GIGASORB / 碱性气体用 外气 (SOx,NOx) 初期滤网 标准ULPA过滤网 无棚区 无有机物区 标准区 标准ULPA过滤网 无NH3区 维修区 回风管 GIGASORB GIGASORB 中性能过滤网 ULPA过滤网 GIGASORB B-ULPA过滤网 局部洁净区 GIGASORB B-ULPA过滤网 排气 GIGASORB规格 项目 型式 / 种类 规格 T20-A / 碱性气体去除用 T20-L / 有机气体去除用 T20-C / 酸性气体去除用 GIGASORB试验结果 压力损失(Panel型) .试验条件

100 90 Panel型GIGASORB / 3层80 用不织布包覆 载体(carrier) 吸著剂 聚氨基甲酸乙酯发泡体(Poly urethone Foam) 球状活性碳 直径约 0.2? 1mm 平均直径约 0.5mm 压70 力60 损失50 (Pa)

40 30 厚度 压力损失 吸著剂重量 总重量 20±2mm Q4.8Pa (0.3m / s时) 3.2±0.5 kg / m2 3.8±0.8 kg / m