PDF《用途例》

液晶玻璃浮动搬运 半导体 汽车,其它 焊接用氩气的流量管理 对应于丰富的流量范围.

能够进行焊接用氩气的流量控制. 玻璃加工 燃烧器火力控制管理 可以进行低压燃气的供应, 最适合于燃烧器等的火力控制. 液晶无离子净化燃气的流量 管理 对应于丰富的流量范围. 能够进行空气的流量管理 引线集合 最适合于要求具有高精度 引线集合的张力控制. 最适合于大型FPD玻璃的浮动 (非接触)搬运. 半导体 净化气体的流量管理 对应于丰富的流量范围. 能够进行净化气体的流量控制. 激光发生器、半导体制造装置中的氮气管理 食品充填包装 最适合于食品包装中不活性气体的充填. 用途例 适用于多个领域 RAPIFLOW可以利用到机械、汽车、精密元件的领域和半导体、生物等尖端领域 以及医疗、食品领域等多种多样的用途上. 适应流体干燥 空气 0.1

1 10

100 流量( /min) N2 O2 H2 燃烧 燃气 Ar 注 特注中对应于预先设定8点(3位)输入.(这个场合,不能使用外部积算重新设定信号输入机能.)详细请到本公司营业所咨询协商. RAPIFLOW FCM系列 适应流体 流量控制范围 输入输出规格 FCM- - 0AN FCM- - 0AP FCM- - 0SN FCM- - 0SP FCM- - 1AN FCM- - 1AP FCM- - 1SN FCM- - 1SP FCM- - 2AN FCM- - 2AP FCM- - 2SN FCM- - 2SP FCM- - PAN FCM- - PAP FCM- - PSN FCM- - PSP 0.015 0.5 0.03

1 0.06

2 0.15

5 0.3

10 0.6

20 1.5

50 3

100 0.015 0.5 0.03

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20 空气 氮气 6快插接头 8快插接头 Rc1/4 9/16-18 UNF Rc1/4 9/16-18 UNF Rc1/4 9/16-18 UNF Rc1/4 9/16-18 UNF 1/4英寸 双重嵌入式接头 1/4英寸 JXR阴螺纹接头 空气类型惰性气体燃气类型活泼气体氩气 13A 氧气 城市煤气 甲烷 丙酮 氢气 氦气 O2 AIR 树脂 树脂 SUS 0.1 0.01

1 10

100 N2 Ar CH4 C3H8 型号SUS SUS SUS 输入输出报警输出 规格输出方式 输入信号 规格模拟 0-10V 预先设定 4点(2位) 注 模拟 1-5V NPN PNP NPN PNP NPN PNP NPN PNP NPN PNP NPN PNP NPN PNP NPN PNP NPN PNP 1-5V NPN PNP 1-5V NPN PNP 1-5V NPN PNP 开关 bit 模拟 0-5V 预先设定 4点(2位) 注bit 模拟 4-20mA 预先设定 4点(2位) 注bit 并行 10位bit NPN PNP 模拟 开关 NPN PNP 模拟 开关 NPN PNP 模拟 开关 NPN PNP 型号适应流体 流量控制范围 min 阀体材质 接管口径 R SUS FCM-9500 AI FCM-0001 AI FCM-0002 AI FCM-0005 AI FCM-0010 AI FCM-0020 AI FCM-0050 AI FCM-0100 AI(仅树脂类型 FCM-9500 AR FCM-0001 AR FCM-0002 AR FCM-0005 AR FCM-0010 AR FCM-0020 AR FCM-0050 AR FCM-9500 O2/LN/C1/C3 FCM-0001 O2/LN/C1/C3 FCM-0002 O2/LN/C1/C3 FCM-0005 O2/LN/C1/C3 FCM-0010 O2/LN/C1/C3 FCM-0002 H2/HE FCM-0005 H2/HE FCM-0010 H2/HE FCM-0020 H2/HE