PDF《扫描电子显微镜》

扫描电子显微镜 性能指标与维护常识 "材料人"系列讲座――第四讲 2017年11月12日1.

不同型号电镜参数对比 2.图像常见的几种像差 3.电镜的维护与保养 4.电镜的安装环境和要求 5.能谱仪的性能指标 目录 日立 S-4800 场发射扫描电子显微镜

1 不同型号电镜参数对比 主要性能: 分辨率: 1.0nm(15kv);

1.4nm(1kv,减速模式);

2.0nm (1kV) 普通模式 加速电压:0.5 ~ 30kV 放大倍率:*20 ~ *800,000 束流强度:1pA~2nA 物镜光栏:加热自清洁式、四孔、可移动物镜光栏 样品室和样品台:移动范围:X:0~50mm;

Y:0~5mm;

Z:1.5~30mm;

T:-5~700旋转R:3600,最大样品尺寸:100mm 探测器: 高位探头可选择接受二次电子像或背散射像,并混合INCA Energy

350 X射线能谱仪 技术指标: X-sight Si(Li) 探测器 (专利),SuperATW 窗口 30mm2 活区,分辨 率优于133eV (MnKα处,计数率为4000cps),分析元素范围:Be4-U92 蔡司SIGMA 500高分辨率场发射扫描电镜 分辨率: 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV 放大倍数:10-1,000,000* 加速电压:0.02-30 kV(无需减速模式实现) 探针电流: 4pA-20nA (40nA&100nA可选) 低真空范围:2-133Pa(Sigma 500VP可用) 样品室:

358 mm(φ),270.5 mm(h) 样品台:5轴优中心全自动 X=125 mm(可选 130mm)Y=125 mm(可选130mm)Z=50 mmT=-10o-90o R=360o 连续 系统控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系统, 可选鼠标、键盘、控制面板控制 主要参数: 更低的加速电压,如500V、300V来成像.同时SIGMA500特别关注提高 了不导电样品在低电压下的分辨率.在标准模式下,500V的加速电压下, 二次电子图像分辨率就可以达到1.2nm.另外据介绍,蔡司即将推出样品 台减速技术,在1kV加速电压下,二次电子图像的分辨率可达到0.9nm. 蔡日立高新扫描电子显微镜SU3500 分辨率:3.0nm@30kV,7.0nm@3kV 放大倍数:7 - 800,000* 加速电压:0.3-30 kV(无需减速模式实现) 探针电流: 4pA-20nA (40nA&100nA可选) 低真空范围:2-133Pa(Sigma 500VP可用) 样品室:

358 mm(φ),270.5 mm(h) 样品台:5轴优中心全自动 X=125 mm(可选 130mm)Y=125 mm(可选130mm)Z=50 mmT=-10o-90o R=360o 连续 系统控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系统, 可选鼠标、键盘、控制面板控制 主要参数: 更低的加速电压,如500V、300V来成像.同时SIGMA500特别关注提高 了不导电样品在低电压下的分辨率.在标准模式下,500V的加速电压下, 二次电子图像分辨率就可以达到1.2nm.另外据介绍,蔡司即将推出样品 台减速技术,在1kV加速电压下,二次电子图像的分辨率可达到0.9nm. ? 电子显微镜:130,000 倍?探测器:高灵敏度四分割背散射电子探测 器?灯丝材料:1,500 小时 CeB6 灯丝 ? 分辨率:优于

14 nm ? 放置环境:采用专业防震设计,可摆放于 普通实验室或办公室、厂房 ? 加速电压:5kV-15kV 连续可调 ? 抽真空时间:小于

15 秒?探测元素范围:B(5)-Am(95)元素 ? 能谱探测器:硅漂移探测器(SDD) ? 冷却方式:无液氮 Peltier 效应电制冷 ? 能量分辨率: